第271章 再一次成功,跨上台階

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第271章 再一次成功,跨上台階

周誌強是好幾天都沒回總廠了,而且同樣是好幾天沒回家裡去了。

新光刻工藝的實驗已經接近尾聲,這兩天就是不斷實驗的過程。

實驗車間內,一台被改進的已經和接近式光刻機相似的設備、不對,應該說本來就具備接近式光刻工藝原理的光刻設備,正準備運行。

技術人員一邊檢測一邊準備操作,如果這已經是周誌強帶人進行的第三次微調。

如果這次失敗,他們依舊要尋找修改微調的地方,成功的話,那他們就實現了半自動化生產半導體矽片。

以後不單單是生產效率提升了一大截,就連用這台光刻設備生產出來的半導體矽片都可以讓集成電路的性能大大提升。

透鏡單元一致性復檢通過,誤差在萬分之三內;光源預熱完成,功率趨向穩定,具備了實驗的可行性。

掩膜版已精確裝載、對準;矽片塗膠也完成了,參數符合最開始的計算設定

技術人員在林工的帶領下,將所有儀器設備全部檢查了一遍,確保所有數值都達到開始實驗加工的界限後,才轉頭向周誌強和趙成輝兩人點點頭。

「開始吧,第三次加工試驗。」

「是。」

技術操作人員也有些緊張的深呼一口氣,隨後便按下了啟動按鈕。

在設備開始運行後,輕微的嗡鳴聲響起。

設備內部,經過無數次優化調整的勻光係統開始工作。

慢慢的將汞燈發出的紫外光均勻化、整形,透過那麵精心製作、鍍膜均勻度達到新高的掩膜版,精準地投射在下方塗覆了光刻膠的矽片上

技術操作人員也十分謹慎小心,生怕因為自己把這次實驗搞砸了。

旁邊圍觀的人更是一點聲音都不敢發出,畢竟這台新的光刻設備,是他們這麼多人,用了將近半年才改良出來的成果。

年前單單是參數計算和數據收集,就用了一個多月,年後沒休息幾天,項目組內的人又全員匯聚,悶在數控分廠內不斷設計研發。

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到現在已經進入四月底,沒幾天就到了五月份,他們要是再不成功,數控係統壓根趕不上總廠那邊的精度。

現在總廠項目組的進度可謂是飛快,有了兩個高校的教授和技術專家支持,還有一堆懂得計算、打下手的大學生。

這讓總廠的項目組飛快的解決了一個又一個的難題,現在已經在等數控分廠的數控係統,進行聯調測試.

時間一分一秒的流逝,單單每一秒都讓其它人感覺度日如年,更別說要等一分鐘了。

不過儀器上顯示的代表光功率穩定性的曲線波動機器微小,沒有意外出現的徵兆

「曝光完成。」

技術操作人員在完成這一步後,立刻開口匯報導:「廠長,趙副組長,我要準備開始顯影了」

「好好,一定要穩住。」

趙成輝聞言後連忙叮囑道,他語氣都壓著激動,要不是接下來還有步驟沒完成,他聲音都壓不住。

接下來操作技術人員又按部就班的將後續的操作全部小心完成。

顯影後的衝洗,隨後小心放到高倍顯微鏡下,操作技術人員這才回頭鬆了一口氣的說道:「廠長,趙副組長,已經生產完了.要不,還是你們來看吧?」

「成輝同誌,你去吧。」

周誌強笑著說道,他心中有種預感,這次的實驗已經成功了,所以讓趙成輝去看。

剛才的操作的一點問題都沒有,這台光刻設備也是他用收集推演助手,用符合這個時代的技術材料,推演了兩遍才製造出來的。

工藝原理上沒問題,設備也沒問題,操作更是謹慎的沒問題,那就不可能出現失敗的情況,所以周誌強才會將宣布這個好消息的機會讓給趙成輝。

「那我就不客氣了啊。」

趙成輝也沒退讓,深呼吸一口氣後,很快便湊到目鏡;在他的視野中,一片在矽片上蝕刻出的微細線路圖案清晰地呈現出來!

一點瑕疵都沒有,邊緣陡直圖案保真度極高,和掩膜版上的設計預想幾乎完全一致。

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