光源係統!
漢斯的心臟像是被一隻手狠狠攥住!
他雖然無法看清全貌,但那暴露出的部分結構他還是認出了一些。
可雖然認出來了,卻還是陌生。
非傳統的冷卻迴路設計。
以及某種他從未在任何文獻或產品中見過的光束整形組件。
每一處都散發著一種超越現有科技水平,令人心悸的氣息!
其複雜程度和集成度,遠非ASML引以為傲的EUV光源可比!
這……這是什麼?!
就在他震驚得幾乎無法思考時,他的目光掃到了站在那台改裝光刻機控製台前的一群人。
魏天華和陳進一果然在這裡!
他們身邊還站著一位神情專注、頭髮有些淩亂的中年工程師(嚴正行)。
但讓漢斯瞳孔驟然收縮的,是站在魏天華他們對麵的那個人!
那人穿著一身筆挺的西裝,氣質儒雅,手裡拿著一個平板電腦,正指著屏幕上的數據與魏天華等人交流。
漢斯認得這張臉!
他是國際專利合作條約(PCT)組織的高級專利審查官,戴維·諾頓!
一個專門負責審查全球範圍內最尖端,最具商業潛力技術專利的權威人物!
PCT的審查官?!
他為什麼會在這裡?!
在這個被軍方嚴密守護的核心實驗室裡?!
一股冰冷的寒意瞬間從漢斯的腳底竄上頭頂!
他猛地意識到,魏天華剛才那個神秘電話裡的「諾頓先生」是誰!
那個「令人驚嘆」、「價值極高」的專利審查……
指的莫非就是眼前這台古怪光刻機裡,那個前所未見的光源係統!
漢斯的心臟狂跳,幾乎要衝破胸膛。
他貪婪地透過那道寶貴的觀察窗縫隙向內窺視,目光死死鎖定在超淨間內部。
那台被改裝的SSA600/20光刻機並未停止工作!
它正發出低沉而穩定的嗡鳴,機械臂流暢地運送著晶圓。
而在光刻機周圍,除了海微的工程師,還有好幾位佩戴著PCT徽章的工作人員!
他們手持平板或專業記錄設備,圍著那台暴露了部分內部結構的光刻機,臉上無一例外地寫滿了驚嘆和難以置信!
他們正與海微的工程師們熱烈地交流著,手指不斷指向那奇特的光源結構和機器運行的實時數據。
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神情激動,如同發現了新大陸的探險家。
PCT專員!
不止一個!
他們在現場審查!
就在這機器運行時!
漢斯感覺自己快要窒息了。
他必須看得更清楚!
特別是控製台的數據!
那才是關鍵!
他像著了魔一樣,沿著觀察窗的牆壁急切地尋找著更好的角度。
突然,他發現側前方一個用於設備維護的狹窄通道似乎無人看守。
盡頭似乎有一個更靠近中心控製台的觀察口!
機會!
他顧不得許多,像做賊一樣,弓著身子,快速地溜進了那條通道。
幸運的是,通道盡頭果然有一個稍大的觀察窗口,角度正對著中心控製台!
漢斯幾乎是撲了上去,整張狂熱的臉緊緊貼在冰冷的觀察窗玻璃上。
眼睛瞪得溜圓,死死盯住控製台上方那塊巨大的主屏幕!
屏幕上,瀑布般的數據流飛速刷新。
漢斯的目光像雷達一樣精準地掃過那些重點參數:
光源波長:13.42 nm (穩定)
光源輸出功率:XXX kW
光源轉化效率:31.8%(實時)
能量密度:XXX mJ/cm²
穩定性指標:< 0.005%(波動)
曝光晶圓累計:第XXX片(持續運行)
實測線寬:7.3 nm (套刻精度< 2.0 nm)
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