第183章 0.18微米
春去夏至。滬上,張江。
龍安半導體一期晶圓廠(Fab1)。
這是一座巨大的、銀白色的金屬怪獸,匍匐在江南的梅雨季裡。廠房外牆上,「東大芯,龍安造」六個紅色大字在雨霧中顯得格外刺眼。
CP測試區(CircuitProbe)。
數百台探針台整齊排列,發出單調的機械聲。這裡是審判庭。每一片晶圓都要在這裡接受最殘酷的檢驗,決定它是成為昂貴的晶片,還是淪為一文不值的廢矽片。
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江權站在觀察窗前。
他已經站了三個小時。
玻璃窗內,趙維明、樸正洙、田中,還有幾十個核心工程師,正圍著一台測試機。他們的背影僵硬得像雕塑。
「第一批Lot(批次)數據出來了。」
阿忠的聲音很低,像是怕驚擾了什麼。
江權沒有回頭:「念。」
「一共25片晶圓。每片切割Die(裸片)數量450顆。理論總產出11250顆。」
阿忠吞了一口口水,艱難地繼續說道:「良品率(Yield)...5.2%。」
5.2%。
在半導體行業,良品率就是生命線。90%是優秀,80%是及格,50%是虧本。
而5.2%,意味著全軍覆沒。意味著幾千萬美金的投入,幾百個日夜的血汗,最終隻換來了一堆昂貴的工業垃圾。
江權推開門,走進了測試區。
這一次,他穿上了全套的防塵服。他看到老板進來,所有人都低下了頭。趙維明的眼圈是紅的,樸正洙的手在發抖,田中則死死地盯著屏幕上的紅色報錯代碼,仿佛要把它看出一個洞來。
「老板,是光刻對準的問題。」趙維明的聲音沙啞,「0.18微米的線寬太窄了,尼康的Scanner在邊緣區域出現了像差,導致...」
「還有蝕刻。」樸正洙補充道,「等離子體的濃度不均勻,造成了側壁損傷...」
「我們在想辦法修補。」田中急切地說道,「隻要調整一下曝光參數,或者把那些邊緣的Die
屏蔽掉,良品率也許能拉到15%...」
「修補?」
江權打斷了他。
他走到探針台前,拿起一片剛剛測試完的晶圓。
那是一片完美的圓形,在燈光下閃爍著彩虹般的光澤。每一個微小的方格裡,都集成了數百萬個電晶體。它是人類工業文明的結晶,美得令人窒息。
但現在,它上麵布滿了黑色的墨點(Inkdots)。那是測試機打上去的「死刑標記」。
「15%?」江權看著手中的晶圓,語氣平靜得可怕,「田中,你是想告訴我,我們花了六個月,燒了幾千萬美金,就是為了生產這種殘次品?」
「老板,這是第一次流片,5%很正常...」田中試圖辯解,「英特爾當年做奔騰的時候,第一次也隻有...」
「我不聽英特爾!」
江權突然吼了一聲。
這一聲吼,在空曠的廠房裡迴蕩,嚇得田中差點跪下。
「我不管英特爾怎麼樣,我也不管台積電怎麼樣。」江權舉起手中的晶圓,目光如刀,「在龍安,隻有兩個標準:要麼是100%的完美,要麼就是0!」
「可是...」樸正洙還想說什麼,「這批片子雖然良率低,但挑一挑還是能用的。有些晶片隻是主頻上不去,可以降頻賣給VCD廠商,至少能回本...」
「回本?」
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「樸正洙,你是不是覺得我是個收破爛的?」
他轉過身,走向旁邊的一輛物料車。車上整整齊齊地碼放著這批剛剛下線的25片晶圓盒。
所有人都驚恐地看著他。
江權拿起一個晶圓盒,打開,抽出裡麵的晶圓。
「啪!」
一聲清脆的碎裂聲。
那片價值幾千美金的晶圓,被他狼狠地摔在防靜電地板上,瞬間炸成了無數碎片。
「老板!」趙維明驚叫一聲,想要衝上去阻攔。
「別動!」
阿忠一步跨出,擋在了所有人麵前。
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