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上滬晶圓基地,地下應急會議室。
所有手機、手錶、無線設備全部封存。
門外三道崗。
門內坐滿了人。
半導體院士。
光學專家。
材料廠負責人。
晶圓廠廠長。
軍工代表。
中樞特派人員。
還有從京城緊急接入的李援朝、王衛國、吳建邦、石磊。
會議室中央,A-17樣片的掃描圖掛在主屏上。
那條從廢品裡抽出來的勢能穀線,紮進每個人心裡。
秦立成坐在靠邊位置,眼眶還有點紅。
他已經讓人查顧景山。
可這個名字離開體係太久,能查到的東西不多。
許燃站在白板前,沒有開場白。
「燭龍升級方案。」
第一行字落下。
會議室瞬間安靜。
許燃寫下四個詞。
【負折射邊緣態物鏡】
【多極勢阱】
【表麵勢能模板】
【受控原子自組裝】
張懷民盯著白板。
「你要正式放棄縮小投影?」
「對。」
許燃轉身。
「傳統EUV的核心邏輯,是把圖案縮小後投到晶圓上。」
「光源越短,物鏡越強,掩膜越精,圖案越細。」
「這條路能走。」
「西方走了幾十年。」
「問題是,他們把每個路口都修成收費站。」
「我們不在收費站排隊。」
他點開下一頁。
屏幕上,燭龍底座的局部結構出現。
這一次,比大會上多開放了幾層參數。
不少專家一眼看過去,後背發緊。
環形量子光場陣列。
負折射物鏡組。
原子源控製腔。
多極電磁約束層。
晶圓表麵勢能模板接口。
許燃指著結構圖。
「燭龍不做縮小投影。」
「燭龍做晶體級製造。」
「用負折射邊緣態物鏡生成超分辨光場。」
「用多極勢阱鎖定原子沉積位置。」
「用電磁場修正原子遷移路徑。」
「用表麵化學模板給晶圓寫入勢能差。」
「最後,讓材料從下往上長成邏輯結構。」
會議室靜了兩秒。
隨後,質疑炸開。
一名材料院士直接站了起來。
「許燃,原子不是棋子。」
「熱噪聲、表麵擴散、吸附能差,一堆變量。」
「你讓它站哪兒就站哪兒?」
另一個晶圓廠負責人接話:
「就算能站住,產能呢?」
「我們不是實驗室做紀念章。」
「一條線一天要跑多少片?」
「客戶不會等你慢慢擺原子。」
設備企業總師也皺眉。
「晶圓表麵缺陷怎麼辦?」
「顆粒、台階、應力、雜質。」
「傳統光刻已經被缺陷折磨得要命。」
「你原子級製造,缺陷放大後隻會更要命。」
軍工代表敲了敲桌子。
「還有可靠性。」
「邏輯單元能算一千組隨機布爾運算,不代表能過高低溫、衝擊、輻照和長壽命。」
「軍用晶片,不能隻看開機亮不亮。」
石磊在視頻裡也撓頭。
「我聽著都覺得細。」
「像拿筷子夾沙子。」
吳建邦瞪他。
「你不會說話就少說。」
石磊理直氣壯。
「我這叫比喻。」
會議室裡有人低笑。
緊張氣氛被他攪開半寸。
許燃沒有急著反駁。
他看向周群。
「接盤古平台。」
周群點頭。
「已接入離線推演庫。」
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