便一日不是真正的鋼鐵俠。
氣態鋰一日未顛覆舊能源,陳默便一直背負爭議,成不了能源新皇。
所以見到這位「新能之父」,閆濤南還是有些意外的。
「陳總?您怎麼在這兒?」
陳默笑了笑:「我剛在隔壁講完氣態鋰,聽說您在這兒,過來學習學習!」
閆濤南眼神裡,閃過一絲複雜。
他對「橙子」這個名字,其實藏著一份特殊的情感。
無關橙子手機,而是源於橙科精密。
正是這家來自種花家的企業,為阿斯嘜提供對準係統,一舉將EUV的良率拉高10%。
其重要程度直逼北美ymar的新光源與蔡斯新一代光學,讓阿斯嘜的EUV光刻機,提前兩年具備市場化量產能力。
「陳總客氣了!橙科精密的產品,我們一直在用,K—PA1.0的零位漂移率進入實測之後,比我們預期的還要好!」
陳默點頭:「閆博士,剛才您講的光刻機國產化問題,我其實有一個不同的思路!」
閆濤南挑眉:「哦?願聞其詳!」
陳默看了看周圍,而後笑著開口。
「如果不用一台機器,而用一套係統呢?」
閆濤南愣住了:「什麼意思?」
陳默用手指在桌上畫了一個圈。
「光刻機本質上,是一套極端精密的光學+機械+控製係統。
如果把它拆開...
光源是一套,光學係統是一套,傳動工件台是一套,對準係統是一套,輔助係統是一套。
每一套,都可以是一個獨立的「光刻模塊」。」
他擡起頭,看著閆濤南。
「如果把這些模塊,用工廠的方式串聯起來,而不是集成在一台機器裡呢?
比如,我完全可以做一個幾百米長的光刻廠」,工件在軌道上移動,依次經過各個模塊一光源模塊、掩模模塊、曝光模塊、檢測模塊...」
閆濤南的瞳孔微微收縮。
他張了張嘴,粗想之下居然覺得並非不可能,於是沒有立刻反駁。
陳默繼續說:「這樣做的優勢是,每個模塊可以獨立優化,獨立升級。
而且,我不需要把幾十噸重的機器做到納米級穩定。
因為工件是移動的,模塊是固定的,穩定性的要求會降低幾個數量級。」
「當然,缺點也很明顯..
占地麵積大,生產效率低,不適合大規模量產。
但是,如果隻用來做關鍵晶片的批量試製,或者做特種晶片,這個方案完全可行!」
閆濤南沉默了很久。
他想起當年在台機電時,做過的一些實驗性項目。
陳默說的這個思路,不是天方夜譚。
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某種意義上,早期的分步式光刻機,其實就是這樣的。
隻是後來為了追求效率,才走上了「集成化」的道路。
「陳總,你這個想法...」閆濤南斟酌著措辭:「很有想像力。但實現起來,難度不比重頭做一台機器小!」
陳默笑了:「我知道!
但至少,這條路不用依賴全球供應鏈。
真到了不得不這麼乾的時候,我們完全可以用自己的光源、自己的光學、自己的控製,一步一個腳印,總能走通的!」
他頓了頓,看著閆濤南的眼睛。
「閆博士,如果有一天,您想換個環境,歡迎來橙子半導體看看...」
閆濤南愣住了。
然後,他笑了。
那笑容裡,有欣賞,有感慨,也有一絲複雜的情緒。
「陳總,謝謝您的好意!但我在阿斯嘜,還有很多事要做。」
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