保持著高度專注。
此次流片驗證採用的測試晶片,是一顆不包含複雜功能的專用測試晶片,其版圖由璿璣係統軟體生成。
包括解析度測試圖案,套刻精度標誌,電性測試機構,和特殊監測圖形等。
不多時。
在超淨間外,徐銘和科研團隊,通過觀察窗,看著第一片矽片被送入珠光極紫外光刻機,整個氣氛莊重而充滿期待。
當全係統鏈路功能驗證流片流程開始啟動,嚴格按照璿璣輸出的工藝檔和珠光的標準參數執行,而這個過程也需要一定的時間,需在晶圓片完成製造後,進行光學量測和電子顯微鏡檢測。
或許是看到氛圍太過嚴肅,這個時候一直沒發言的餘高遠,終於捨得主動開口。
「真讓人驚心動魄啊,不知道有多久,沒經歷過這種心情了。」
說這句話時,故作輕鬆的語氣,和臉上堆出的微笑,為大家的情緒增添一些不同的波動。
「大家的壓力確實不小。」賀鵬濤點點頭附和句。
前腳話音剛落,身旁科學院化學研究所的周啟深院士,也接過話茬道:「國家有徐總師這樣的天才,我相信逐光極紫外光刻機,肯定能光刻出良好的各層圖案。」
他比賀鵬濤和丁順安小上幾歲,在光酸劑與樹脂等分子設計,以及合成與作用機理等研究領域,位於國內領先地位。
對國家化學材料的發展,做出過重要貢獻。
此次整合國內資源,成立國家集成電路製造研發創新中心,他所在化學研究所,也被納入整合範圍。
負責國產高端光刻膠的研發工作。
其中值得一提的是,徐銘擅長數學物理甚至信息學科,憑藉自身實力和天賦,帶領光刻機和晶片設計軟體,快速實現技術疊代。
以至於經常能在網上看到,又有新的進展新聞。
這對他們光刻膠項目組團隊來講,無疑有著巨大的壓力。
隻能依靠自身。
儘最大努力,保證國產高端光刻膠的研發,做到不拖其他項目部門的後腿。
畢竟大家所在工作屬於一個整體,任何人掉隊都不行。
幸好他們的運氣還算不錯,在首台逐光極紫外光刻機組裝完前夕,成功合成一種效果更好的光刻膠。
遠超過當前國內的光刻膠水平。
而正當他思維快速運轉,腦海中一直想著流片結果時,耳旁突然響起徐銘的熟悉聲音。
「我們要看的,不是能不能做出圖形,而是現實與預測的偏差,究竟有多少原子。」徐銘看向周啟深院士,神情很是認真的接話,他對流片數據的要求,遠比現場人要高。
如果說其他人的目標,是晶片製造技術,追趕上阿斯麥設備的產品。
那麼他則是要超過。
況且在付出這麼多努力和心血後,想達成這一點,也並非是什麼不可能做到的事。
餘高遠對徐銘的了解,無疑要比現場任何人都深。
他在聽到這句話,當即應和道:「有你的這句話,我對流片結果可是更加期待了,看來又要給我驚喜。」
眾人之間的交流並未持續多久,很快就又被流片過程吸引。
目睹百分之百國產化,正在運行的逐光極紫外光刻機,團隊士氣越發高昂。
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由於整個流片過程,包括光刻和刻蝕,以及沉積等數十道工序,且被嚴密監控,因此往往要歷時數周時間才能結束。
麵對這種情況,大家毅然留在微電子裝備。
都想第一時間看到流片數據,也好見證國內晶片製造歷時上,真正裡程碑時刻。
很快來到月底。
高考結束分數陸續出爐,準大學生開始填寫誌願,選擇自己心儀的高校專業。
如果這時候去參加,各地舉行的招生活動,則會發現燕大所在展台位置,基本上一個學生和家長都沒有,但偏偏被旁邊的箐華等,學校招生老師羨慕的不行。
沒辦法。
正所謂樹的影,人的名。
在徐銘這張金字招牌下,燕大已然成為,全國最頂尖的高校。
徹底把箐華甩在後麵。
甚至放眼國際,燕大也的地位排名,也在以肉眼可見的速度,每年持續上漲。
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