隨大家都看完報告,人群中的蘇振豪率先開口,依舊堅持自己的判斷。
「璿璣係統的模型算法,經過了無數次驗證,預測數值是不可能出現問題的。」
眼看眾人要針對此事召開討論時,隻聽徐銘再次開口拍板為情況做出決斷,顯然通過這些數據報告,已然成功找到了問題的真正所在。
「問題不在於我們的設計軟體,也不在逐光極紫外光刻機的光學投影上,如果我的判斷沒有錯,應該是光刻膠在響應極紫外光時發生了,模型之外的化學反應暴走。」
「由光刻膠響應遲緩隨機,引起圖案邊緣隨機潰散。」
「進而破壞了電晶體的電學特徵。」
「周院研發的新一代光刻膠,雖然實現技術突破,但仍舊沒能達到逐光和璿璣的要求。」
「我們的設計軟體和光刻機,在技術上與海外分屬於不同的技術路線,要想真正發揮出最大優勢,成為世界上最先進的高端晶片生產線,必須為他們量身打造一款國產高端光刻膠。」
當徐銘的話音傳到房間每個人耳中,大家心裡也不免感到五味雜陳。
麵對這樣的一個結果,不知道該高興還是嘆氣。
首次全鏈路功能驗證流片,在一定程度上,證明了逐光極紫外光刻機,和璿璣係統EDA算法工具的成功,單憑這兩項成果自然值得高興慶賀。
然卻也發現了光刻膠的問題,依舊無法實現真正的國產化高端晶片製造。
周啟深看到結果雖情緒短暫低落,但畢竟是國內化學領域的頂尖專家,他很快便調整好了自己的心態。
待目光重新浮現堅定之色時,立刻向餘高遠說話。
「請院裡和領導放心,我們化學研究所,保證在一年時間內找到並解決光刻膠響應遲緩隨機。」
「不影響國產晶片製造產業鏈問世。」
然餘高遠聽完這句話後,卻並沒有立刻開口表態。
反倒是把視線投向徐銘詢問道:「你是整個專項項目的總設計師,先談談你的想法和後續打算吧?」說話時臉上表情隱隱夾雜著幾分期待。
以他對徐銘的了解,既然能直接確定問題,那麼大概率已經有解決方案。
肯定要先詢問清楚。
畢竟和徐銘接觸的這段時間,他可沒少從對方那裡聽到驚喜。
沒錯。
徐銘對於光刻膠的響應遲緩隨機,確實沒有太擔心。
正常情況下,要為光刻機和軟體量身打造光刻膠,的確是件非常困難的事情O
尤其在化學合成以及實驗的時候,往往要經歷無數次的失敗後,才能找到最合適的配比技術和數值,而這個過程相對來說也比較漫長。
若放在以前時間充足的情況下,那自然可以慢慢去研發實驗。
奈何眼下留給國內的時間隻剩一年。
但好在憑藉璿璣係統的強大,可以通過數學物理模型把編寫光刻膠的分子結構。
真正做到完美適配。
要知道極紫外光刻的本質,是光與物質在皮米尺度上的華麗舞蹈,而璿璣係統便是編好的舞蹈動作,光刻膠則歸屬於那個跳舞的舞者。
隻要編寫出具體的分子結構,為每束極紫外光,製定它的化學反應。
再由化學合成團隊,根據結構和路徑製造光刻膠。
採用這種方法,其效率要遠遠超過傳統方案。
相信不用一年的時間,就能研發出完全適配,逐光極紫外光刻機和璿璣係統的高端光刻膠。
屆時整個晶片製造環節完成閉環,國內掌握的半導體技術也將直接領先全球。
徹底改寫現有的行業格局。
實現顛覆性變革。
思維在大腦中快速運轉下,徐銘接著不再賣關子,立刻說明詳細情況。
「關於光刻膠的問題,我們沒必要擔心。
「如果順利的話,隻需要半年時間,我就有把握實現合成和量產。」
徐銘的這番話,效果絲毫不亞於一顆巨石,猛然砸進平靜的湖麵,頓時進發出幾米高的浪頭,瞬間吸引了現場所有人的驚訝目光。
短暫怔了十多秒後,還是賀鵬濤最先反應過來,連忙主動向徐銘拋出自己心裡的疑問。
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