數字。
「相比較傳統的錫滴發生器和雷射路徑,我們根據基礎物理學的新理論發現,設計出全新的極紫外光源。」
「它的能量轉化效率達34%,熱負載降低87%。
「連續無維護運行時間,理論超過3000小時。」
首次在大會中披露出逐光的詳細數據,幾乎當聲音在會場落下的瞬間,台下頓時響起陣難以置信的竊竊私語。
溫克姆以及技術官布林克,皆身體前傾,眉頭緊蹙。
身為阿斯麥半導體設備執行長,他太清楚這些數據意味著什麼。
自家公司的工程師,為提升幾個點的轉換效率,降低幾攝氏度的鏡片熱變形付出的代價,在這一刻似乎顯得有些近乎悲壯。
「原來是這樣。」
「難怪他們能解決物鏡係統的短板。」
他回想起華國研發光刻機,在物鏡上麵一直以來的技術落後,先前還在疑惑為何能如此快突破,現在才明白竟是憑藉全新的光源係統來進行彌補。
念頭停留在這裡,嘴唇忍不住微動,用僅能身旁布林克聽見的聲音自顧自低喃一句。
「這不是改進,是對光源物理的重新書寫。」
然還沒容他繼續思考,注意力頓時又被台上,徐銘放出的新內容吸引。
「憑藉逐光極紫外光刻機,和璿璣算法工具,以及由我們自主研發的全新一代光刻膠共同配合,首次全鏈路流片驗證便取得圓滿成功。」
「設備綜合利用率98.7%。」
「預測良率98.3%。」
「實際量測良率99%。」
目光盯著屏幕中,那近乎一條直線的波動曲線,溫克姆臉上的自信徹底消失不見。
他下意識地看了眼身旁的布林克,發現後者正捧著筆記本電腦快速敲擊,似乎是在驗算著什麼,並且整個臉色越來越白。
公司最先進的工廠,要打成這樣的穩定性,需要多複雜的自適應調教,多麼漫長的工藝爬坡,他們兩個人可以說都非常心知肚明。
如此小的預測和實際測量誤差,完全違背了他們熟知的工業常識。
卻也說明對方已經具備成熟的係統協同。
毫不誇張的講,他們與海外眾多客戶,數十年磨合建立的共生生態,被這種更高效更封閉的內循環模式挑戰。
關鍵他竟找不到自家的任何優勢。
台上的徐銘,沒有去關注其他人的反應,在最後他又放出了兩張測試晶片的電子顯微鏡照片。
正是逐光生產的5納米複雜工藝,以及阿斯麥公布的自家7納米流片數據。
「請注意邊緣輪廓與接觸孔底部的形貌。」
徐銘從旁提醒著,隨之調出三維原子探針斷層掃描數據圖揭示細節。
能夠清晰看到,逐光極紫外光刻機產出的結構,側壁垂直度和界麵粗糙度在統計指標上更優。
同樣半個小時過去,徐銘的這場演講,也以圓滿的結尾進入尾聲。
「我們研發的不是一台光刻機,我們提供的,是一個確定的答案。」
「輸入設計目標,輸出製造結果。」
「其間的所有不確定性,由我們的係統消化,這就是我們定義的下一代製造。」
隨著徐銘徹底講完,場內掌聲立刻如海嘯般爆發。
久經不息。
但溫克姆卻聽不到。
他的世界很安靜。
麵對擺在眼前的事實,他不得不承認,阿斯麥輸了。
輸的不僅僅是某一項參數,而是對先進位造」範式的定義權。
對方僅用三十分鐘時間,便宣告了一個全新半導體行業時代的來臨。
思維快速運轉下,他已經顧不上其他人,有意無意飄過來的眼神,整個人靠在椅背上,雙手交疊放到身前仿佛成為了一尊雕塑。
此種狀態足足維持了幾十秒,他深吸一口氣,回過神看向布林克聲音低沉道:「取消接下來所有的非必要行程,我們現在急需要重新評估一切,從技術路線圖到未來的商業模式。」
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