雙工作台:首都中卓精科科技,主創團隊水木大學教授。
其次是光源係統即光源的產生(涉及激光器)、光的收集(涉及極高精密反射鏡),最後是光的純化和均一化(涉及鏡頭均勻和曝光技術)。
然後是投影物鏡……
草稿本很快全是密密麻麻的注釋,每一個係統、每一個關鍵技術對應著哪個公司、哪個團隊全部寫下來。
完成後,盛明安再檢查一遍,沒發現遺漏,撥通陳驚璆的電話:“跟你說點事。”
陳驚璆:“我聽著。”
盛明安長話短說,“光電實驗室的甘教授團隊前年啟動攻克9nm光刻技術項目,聯係他們談合作的事。”
陳驚璆:“可行嗎?”
盛明安在草稿本光刻技術這裡畫了個圈並說:“甘教授讀博期間曾在光刻技術上突破光學衍射極限,他本人非常擅長光刻技術。”
陳驚璆:“我現在通知林成建。”
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