第484章 我不會讓你輸
陳學兵說出這句話,內心也經過了一番掙紮。
扶柳傳上位,讓張汝京退位,這些事若傳出去,以後人們不知會怎樣看他。
可事情往往就是這麼反直覺。
柳傳還有利用的價值,張汝京繼續待在中芯,卻是一點好處都沒有了。
這一點都不公平,可是...它需要這麼發生。
「陳總,你到底站在哪一邊?!」張汝京背起了手,有些激動地問道。
陳學兵早已有了迎接怒火的準備,此時十分冷靜地回答:「自然是國產半導體這一邊「」
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「砰!」
張汝京猛地將桌上的訴訟副本拍在桌麵上,語氣裡滿是悲憤與倔強:「台積電要我退位?我偏不退!他們告一次,我接一次!1.75億美元的賠償我扛了,90nm,甚至65nm的技術難關我闖了,現在你告訴我,要我用退位換和解?這不是妥協,這是認輸!是對所有跟著我回國乾半導體的兄弟的背叛!」
陳學兵端坐不動,等張汝京的怒火稍歇才緩緩道:「張董,65nm你可以靠193nm浸沒式光刻和偏光照明、OPC、RET這些光學技巧硬闖過去,可45nm不是光靠技巧就能解決的。
「台積電和英特爾在45nm已經用上了193nm浸沒式:NA值1:2的光刻機:高NA透鏡:雙重曝光,中芯呢?你們連一台真正的193i都還沒完全跑順,更別說DP工藝整合、套刻精度、overlay控製。
「45nm的柵極cD要求已經到了40nm以下,單靠193nm單曝,衍射極限擺在那裡,線寬粗糙度(LWR)、CD均勻性根本壓不下去。
「更別說HKMG(高k金屬柵)、應變矽、低k介質、銅互連的電遷移問題,這些不是買幾台設備就能解決的,需要整個工藝平台的積累。
「台積電在45nm已經做了兩年以上的工藝驗證,中芯現在連65nm的良率都穩定不了,你告訴我,45nm靠什麼跟他們拚?靠勇氣嗎?」
這頓輸出,把張汝京說啞了。
他沒想到一個投資人,竟然跟他講技術問題,還把問題講得如此專業和具體。
實際上陳學兵此前對晶圓製造也就知道個流程,曉得哪些工藝比較關鍵,這次是讓辛夢真諮詢了DCT請來的日本專家,廢了很大的勁才把這些專業名詞的含義大概掌握,不過根據中芯國際麵臨的層層技術阻礙,不需要深懂,已經讓張汝京無法回答了。
「45納米,單曝必死,多重曝光是唯一的量產路徑。」
陳學兵沉聲說罷,又再問道:「如果沒有台積電許可,自研多重曝光死路一條,張董你告訴我,你打算怎麼解決這個問題?」
前方全是台積電和Inter的專利牆,強做就是專利侵權,甚至沒有人家的授權和技術文檔,做下去也是成本爆炸。
他問得如此具體,張汝京已經沒法用「決心」兩個字來回答了。
「我們可以研究混合曝光方案...」張汝京雖回答了,但也有些勢弱。
混合曝光,本質上是「能單曝就單曝,實在不行才用多重曝光」的折中方案。
專利風險雖然小一點,但仍然存在,而且單曝多曝工藝不一致,技術缺點太多,是工藝集成工程師的噩夢,這不是長久之路。
陳學兵微微失望的表情搖頭,也說明著他的答案並不具備可行性。
張汝京的臉色一陣青一陣白,嘴唇動了動,卻一個字也說不出來。
陳學兵的話像一把鈍刀,在刺他的肉。
他背過身去強忍著情緒,眼眶都有些憋紅了。
此時,接待室的門被輕輕推開,一個工作人員快步走了進來。
「張董,陳總,李市長和江董事到了。」
話音剛落,兩道身影便走了進來。
李市長身著中山裝,氣質沉穩,目光掃過房間裡凝重的氣氛,微微皺了皺眉。
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