單上的參數,臉色也微微一變。
「是啊,師弟,李哥說得對,這個劑量確實太高了,導師之前也試過類似的劑量,最後晶圓直接報廢了。」
【𝗼𝗼𝗽.𝘁𝘄 無錯章節】
聽到這話,韓靖卻絲毫不慌,接過參數清單,指著重難點,耐心解釋道:「放心吧,這個劑量看似偏高,但其實是合理的。」
「我們會先引入氮化界麵層,這種界麵層能有效抑製硼穿透效應,剛好可以抵消高劑量離子注入帶來的損傷。」
「這不僅不會損壞晶圓基底,還能精準控製摻雜深度,讓溝道摻雜濃度達到平衡——這也是解決這個難題的核心關鍵。」
停頓了一下,他補充了一句,算是給出了個解釋。
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