頭戲。
所有人都豎起了耳朵，連呼吸都下意識地放緩了。
“先說物鏡。”
“傳統光刻機的物鏡係統，大家都清楚，本質上就是一套極端複雜的折射光學透鏡組。”
“幾十塊甚至上百塊超高精度的玻璃透鏡，層層堆疊，去校正像差、色差、還有各種雜七雜八的光學畸變。”
“一塊透鏡的麵形精度要求做到亞納米級，然後再把幾十塊這樣的透鏡疊起來——這條路線的工程難度，在座的各位比我更有發言權。”
這話說得平淡，但在座搞精密儀器的人，臉上的表情都沉了下去。
因為這正是他們多年來啃不動的硬骨頭。
不是不會設計。
是我們的工業基礎，根本加工不出來！
一塊透鏡差零點幾個納米，幾十塊疊在一起，誤差累積，整套物鏡係統直接報廢。
“所以，我的研究方向不走這條路。”
林淵的話乾脆到了極點。
“我研究的是——消色差超構透鏡。”
消色差超構透鏡？
這個概念並不算全新，學術圈裡有零星的前沿論文討論過。
但那些討論，無一例外停留在最基礎的理論探索階段，離實際應用隔著十萬八千裡。
而林淵現在說的是，他要把這個東西，用在光刻機的物鏡係統上。
精密儀器所的老所長把眼鏡重新架回鼻梁上，嘴唇動了一下，但沒出聲。
他身旁那個中年骨乾已經拿起了筆，手懸在筆記本上，卻一個字都寫不出來。
因為林淵根本沒給他們反應的時間。
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他直接翻篇了。
“再說雙工件台。”
他的話頭轉得極快。
會議室裡，自動化控製所的那個精瘦中年人，身子不由自主地前傾了半寸。
“傳統的雙工件台係統，用的是氣浮軸承加線性電機驅動，位移測量靠激光乾涉儀。”
“這套方案已經很成熟了，但也已經快碰到物理極限了。”
“定位精度要繼續往下壓，靠改良現有架構，很難。”
他說得很快，三兩句把背景交代完，然後話鋒一收。
“因此我對工件台提出的研究方向，是磁懸浮平麵電機，配合原子乾涉儀絕對定位。”
又是幾個專有名詞，乾淨利落地扔了出來。
自動化控製所那個精瘦的中年人，交疊在桌上的手臂鬆開了。
他整個人往前探了兩寸，盯著林淵，眉頭擰成了一個結。
磁懸浮平麵電機他懂，國內有幾個團隊在做，但遠沒到能用在光刻機上的程度。
還有原子乾涉儀絕對定位？
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