沈聽瀾把曝光劑量設錯這件事,發生在開學第三周的周三下午。
那天微納加工平台的人特別多。隔壁課題組一個博士生帶著三個碩士生在排隊,走廊裡站了一串。沈聽瀾和周予安分到的機時是下午一點到三點,時間卡得很死,到點就得交設備。
她有點急。
不是周予安催她,是後麵那個博士生每隔幾分鐘就從玻璃窗往裡看一眼。口罩上麵那雙眼睛寫滿了“你們快點”。
沈聽瀾把基底放上樣品台,在觸摸屏上設置曝光參數。紫外曝光,劑量那一欄她多輸了一個零。
周予安在旁邊檢查掩模版對準,沒看屏幕。
她按下確認鍵的時候,手指頓了一下。總覺得哪裡不太對,但後麵那個博士生又往窗戶裡看了一眼。
她就把鍵按下去了。
曝光完成。她把基底取出來放進顯影液。
透明的液體裡,光刻膠沒有像往常一樣從圖案邊緣開始溶解。
整片膠麵紋絲不動。
她又等了一會兒,用鑷子夾住基底邊緣輕輕晃動。膠麵還是不動。
她把基底夾出來對著燈光一看。
叉指電極的圖案沒有出現。光刻膠被烤成了一層焦黃色,硬邦邦地覆在薄膜表麵,像一層烤過頭的焦糖。
她用鑷子尖刮了一下。
刮不動。
李輝正好推門進來。他看了一眼沈聽瀾手裡的基底,又看了一眼她臉上的表情。
【𝗼𝗼𝗽.𝘁𝘄 無錯章節】
“這顏色挺好看。”
他湊近了些,把鑷子接過去敲了敲那層焦黃的表層,發出極細微的篤篤聲。
“跟烤鴨皮似的。你拿紫外光烤的?”
沈聽瀾沒說話。她把曝光參數從設備記錄裡調出來,盯著劑量那一欄多出來的那個零。
手指在觸摸屏邊上停了一瞬。
周予安走過來,把那片報廢的基底從鑷子上取下來,對著燈光看了看。焦黃色的硬殼在光線下透出一種接近琥珀的質感,叉指電極的掩模圖案其實印上去了,但光刻膠碳化得太厲害,邊緣糊成了一片。
“留著。”他說。
沈聽瀾看著他。
他從樣品櫃裡拿出一個透明樣品盒,把那片焦黃的基底放進去,蓋好蓋子。又從筆筒裡抽出一支記號筆,在標簽上寫字。
字跡瘦的,鋒利的。
“三月十二日,曝光劑量錯誤,焦了。留存。”
他把樣品盒放在樣品櫃最上層,和那批成功的電極圖案並排。
“留這個乾什麼。”沈聽瀾問。
周予安把筆套蓋回去。
“留給你下學期看的。等你做熟了,回頭看看這個,就知道自己走了多遠。”
沈聽瀾看著那個樣品盒。焦黃色的基底隔著透明塑料,邊緣糊掉的叉指電極像一幅沒印好的版畫。
她忽然想起高中時周予安收著她的那些草稿紙。第一版升溫曲線畫錯了,他收著。申報書提綱撕了兩版,他收著。耗材清單上被她劃掉又重寫的MEMS問號,他也收著。
他一直在做同一件事。
把她所有的不完美都保存下來,然後在未來某個時刻,拿給她看。
看,你從這裡走到了這裡。
後麵那個博士生又在窗戶外麵晃了一下。沈聽瀾把樣品櫃關上,重新取出一片新的基底。
“再來。”
第二片做得很順。勻膠,前烘,對準,曝光,顯影。叉指電極的圖案乾淨利落地轉移到薄膜表麵,邊緣清晰,線寬均勻。
她把成品放進樣品盒裡,標簽上寫日期和批次。然後在那行日期下麵,加了一個字。
“二”。
第一次是焦的,第二次是好的。她把兩個樣品盒並排放在一起。
走出微納加工平台的時候,外麵的天已經暗了。法桐樹還是禿的,但枝丫的末梢泛出了一層極淡的青灰色。
不是綠,是綠之前的那種顏色。
她站在門口看了一會兒那層青灰色。
周予安從後麵走上來,手裡拎著她的圍巾。她換防護服的時候搭在更衣室椅子上忘了拿。
他把圍巾遞過來。
她接過圍上。枇杷花貼在嘴角,絨絨的。
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