【第522章 新的跨越】
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車間內，沈永健按下主控台上的啟動按鈕。
極低且平穩的嗡鳴聲在耳邊一閃而過，龐大的設備各處指示燈亮起。
從土法光刻到接觸式光刻，直至今日的步進掃描光刻，這光刻設備本身雖然越來越精致，但其體積也不斷增大。
就眼前這台的體積已不輸於前些年的大型計算機。
車間內空調機組正不斷變頻中，精確地將溫度與濕度依舊保持在完美的恒定狀態。
這套薛福根還未展開研究的，隻被他指明為之後研究方向的技術，如今在這台精密空調之中已應用運行流暢。
“開始自檢。”
沈永健緊盯著眼前的控製屏幕，下達了指令。
機櫃嵌入的屏幕上，各項傳感器數據如瀑布般刷過。
激光乾涉儀的讀數瞬間鎖定，氣浮導軌的壓力值穩定在標準區間，直線電機的響應延遲也達標。
“自檢通過，掩模台與矽片台就緒。”
顯示屏上顯示出結果，卓邵文看著麵前的新機器，眼中滿是期待。
“載入測試晶圓，運行L-4芯片的模擬曝光程序。”
隨著指令錄入下達，塗有光刻膠的矽片送入至工作台區域。
和上一代步進重複光刻機“靜止曝光”時的頓挫感不同，這次新機器的整個曝光過程顯得異常絲滑。
眾人能清晰看到在曝光的瞬間，掩模台和矽片台並沒有保持靜止，而是在激光乾涉儀的精準定位下，進行著同步反向移動。
而實際工作台內對晶圓的不同曝光過程，光憑肉眼可看不出區別。
唯有等幾分鐘後，第一片測試晶圓曝光完成，被轉送入顯影與檢測區，眾人跟著期待起來。
車間內依舊安靜，觀摩的技術骨乾們再次屏住了呼吸，緊緊盯著檢測儀傳回的實時數據。
“多層套刻精度：0.15微米”
“邊緣線寬均勻度誤差率：1.95%”
…
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顯示器測試結果顯現瞬間，卓邵文，張偉森等人便已經激動起來。
“啪啪~！”的鼓掌聲從幾人之中響起。
餘下的技術骨乾們也立刻激動地鼓起掌來。
要知道上一代的步進重複光刻套刻機精度勉強隻達0.5微米左右，如今直接將精度提升了兩倍有餘。
哪怕還未大規模地生產測試，但良品率必然遠超之前！
“沈工，新光刻機的單片晶圓曝光時間比原先也縮短了40%。”
“要是良品率能保證，整體生產效率至少能翻一倍。”
沈永健看著屏幕上一係列結果，緊繃的神經終於放鬆下來，嘴角露出一抹笑容。
東西是他設計的沒錯，但從設計到研製落成，這其中可不簡單。
尤其是光刻機這種設備，他最擔心的就是有零配件不達標，尤其是部分加急進口的零配件，倘若精度不夠耽誤的時間可不止一點半點。
如今新機器精度與效率的雙重飛躍下，國內在微電子製造工藝上，再次有了巨大的跨越。
毫不誇張的說，目前國內工藝已將世界先進水平拉開了巨大斷層。
光刻設備的更新，雖然眾人心情都十分激動，但於廠裡而言卻並沒有多少消息透出。
於外界而言更是未有丁點變化。
唯獨研發處的薛福根在廠裡愈加忙碌起來。
帶著研發處的同誌開始鑽研起適合空調的轉子式壓縮機。
微電子所內，沈永健也將注意力轉到了卓邵文的L-5芯片方案上。
這次跨越萬集成度的芯片，方案早已經過多次仿真與修改，隻可惜依舊還有要調整的地方。
而芯片方案的每一次微小調整，又牽扯許多局部模塊的設計，工作量反而比最初起步時還大。
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