【第89章 成了】
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周培元坐在靠牆的椅子上，麵色看不出什麼情緒。
方遠誌站在周培元旁邊，手裡拿著一部加密通訊終端，隨時準備向上麵彙報。
"各子係統狀態彙報。"秋明軒的聲音平穩。
"光源係統就緒。磁網格穩流正常，錫滴排列偏差小於千分之三。"楊正清的聲音從左側傳過來。
"光學係統就緒。全鏈路波前誤差零點零零一納米，磁控變形鏡預補償參數已加載。"李維民的聲音帶著一絲繃緊的意味。
"整機定位係統就緒。磁懸浮接口全部耦合正常，晶圓台位置重複性零點零二納米。"胡振邦的聲音短促有力。
"熱控係統就緒。超導冷循環啟動，腔體溫差零點零零零二度。"許長庚在總控台旁完成了最後一項自檢。
秋明軒看了一眼時間。上午九點整。
"開始。"
命令下達的瞬間，中央總控台上所有的指示燈同時切換為藍色。
光源腔體裡，CO₂激光器發出了第一束脈衝。
激光穿過磁網格，精準轟擊在預先排列好的錫滴靶上。
錫滴在瞬間被加熱成高溫等離子體，輻射出極紫外光。
極紫外光經過第一麵收集鏡，超導碳基襯底、表麵鍍著鉬矽多層膜、背麵磁控陣列在一微秒內完成了第一次主動變形補償，被聚攏成平行光束，射入照明係統。
照明係統將光束整形、均勻化，經過投影物鏡的七麵反射鏡逐級縮小和像差補償，最終以極高精度的圖案投射到晶圓表麵的光刻膠層上。
整個過程，從激光打出到曝光完成，耗時不到一秒鐘。
然後楊正清第一個開口，壓製不住的激動：
"晶圓表麵曝光劑量......達標了。"
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"光刻膠顯影線寬......三點五納米。"李維民的聲音緊跟著響起，他死死盯著光學監控端的屏幕，"過刻蝕深度窗口......正常。"
"晶圓台定位漂移......零點零二納米。連續運行四十分鐘，數據穩定。"胡振邦說完這句話，自己也愣了一下，像是沒想到真的能這麼穩。
許長庚抬起頭來，看著中央總控台上綠色數據流的波動曲線，從第一行數據跳出來到現在，曲線始終平穩得像一條直線。
在開機運行四十分鐘之後，還沒有出現任何需要人工介入的異常漂移。
這意味著他們做到了。
秋明軒看著那條綠色曲線，然後轉身對許長庚說：
"跑第二片。循環測試，連續跑二十四小時。"
許長庚點頭，手指在鍵盤上敲了幾個指令。
第二片晶圓被機械臂送入曝光腔體。
然後是第三片，第四片，第五片。
試驗一直持續到第二天上午九點。
許長庚在中央總控台上完成了最後一次數據導出，然後站起來，轉向秋明軒：
"秋組長，二十四小時連續運行，整機漂移小於零點零五納米。晶圓產量......"
他頓了頓：
"每小時五百三十七片。"
會議室裡爆發出一陣巨大的歡呼聲。
方遠誌走到周培元旁邊，低聲說："周老，報上去？"
周培元站了起來。
他嘴角微微動了一下，然後說：
"報。"
方遠誌拿起通訊終端，走到角落裡，低聲說了幾句。
.....
分管科技工作的老領導，姓沈，全名沈經世，今年六十七歲。
祖上據說是可以追溯到沈括，就是那位撰寫夢溪筆談的北宋科學家。
他在這條戰線上乾了三十一年。
從他手上報上去的重大突破，用紅頭文件摞起來，大概能堆滿十幾個檔案櫃。
從國產大飛機航電係統到深海載人潛器耐壓殼。
從七納米蝕刻機到航空發動機單晶葉片。
每一顆工業明珠被摘下來的時候，他都在電話那頭聽過第一聲成了。
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