【第83章 隻要我活著，他們就無法造出原子彈】
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範德維爾沒有停。
"我看過你們的文檔。"
"到現在竟然連光源腔體裡的錫滴發生器都沒調明白。"
"錫滴直徑、頻率、位置穩定性，這三樣你們有哪一樣做到穩態數據了？"
"我一個老朋友在啊斯麥乾了十四年錫滴控製，光是調這一項就調了六年。"
"六年。你們這才幾個月？"
他說完這些話，現在鴉雀無聲。
然後他抬起頭。
"第二個問題。光學係統。"
他的目光沒有轉向光學方向的負責人，而是直接越過整個桌子，落在角落裡一個戴著黑框眼鏡的中年研究員身上。
"你們的麵形精度，最高能做到多少？"
中年研究員嘴唇動了一下："一個納米。在實驗室條件下。"
"一個納米。"範德維爾重複了一遍，然後忽然笑出了聲，是那種帶著鼻腔的、短促的笑，"一個納米。哎呀，一個納米。你們好厲害。"
"你知道啊斯麥的要求是多少嗎？零點一納米。零點一。"
"差了一個數量級。你一個納米的麵形誤差，反映到EUV成像麵上，漂移至少三到五個納米。"
"你們要在七納米節點上搞量產，光刻膠窗口就那麼大，良率你能做到多少？百分之五？"
"你知不知道極紫外光有多嬌氣？"
"波長隻有十三點五納米，鏡麵上一丁點粗糙度都能把波前畸變成一塌糊塗。"
"你們磨出來那種精度的鏡子，在實驗室裡拿乾涉儀測一測，數據好看得很。"
"裝到機器裡一開光，全完蛋。"
"還有熱變形。光打上去，鏡麵升溫零點幾度，麵形就變了。"
"你們跟我說說，零點幾度帶來的變形你們拿什麼補？"
"你們的材料數據從哪兒來的？熱控模型做沒做過？"
"實機測試跑過幾個小時？"
“就這你們還想繼續乾？”
他每問一句，語氣就冷一分。
光源係統負責人抿著嘴唇，臉頰的肌肉一跳一跳的。
那位戴黑框眼鏡的中年研究員把保溫杯擰開了，又擰上，擰開了，又擰上。
範德維爾還沒說完。
目光從左邊掃到右邊。
"你們拿到的啊斯麥的技術資料，是二十年前的。"
"二十年前的東西，你們當寶貝一樣研究了三年。"
"你們知道這二十年間我們迭代了多少版嗎？"
"七版。每一次都是重新設計。"
"你們拿一版二十年前的舊圖紙，就想仿出一台整機來？"
"你們以為光刻機是造拖拉機嗎？拆一台就能抄一台？"
"如果你們沒有請我，花再多錢，堆再多人，沒有一點用。"
專項小組的會議室內，在範德維爾一通毫不留情的炮轟之下，空氣幾乎凝固了。
範德維爾那番話把他們這幾個月來的努力以及為之驕傲的一些成果，沿著最脆弱的接縫處，一層層剝開。
長桌兩側，二十多位專家神色各異。
有人沉默地盯著麵前的圖紙，仿佛要把那紙盯穿。
有人推了推鼻梁上的眼鏡，掩飾眼神裡一閃而過的不甘。
那位戴黑框眼鏡的中年研究員終於停下了擰保溫杯的動作，把它重重擱在桌上，發出一聲悶響。
國防科工局的領導神色不變，但攏在桌麵下的手緩緩收緊了。
就在這幾乎是死寂的沉默中，會議室的門被輕輕推開了。
“嗒、嗒。”
皮鞋踏在淺色地磚上，步子不快不慢。
所有人的目光都下意識地朝門口投去。
周培元走在前麵，身姿挺拔，臉上沒什麼多餘的表情。
秋明軒略微後退半步，麵色嚴肅。
他們雖然來得稍晚一些。
但也是在外麵真真切切聽到了範德維爾的話。
秋明軒無法理解。
我們是讓你過來幫忙研究光刻機。
我們是給錢了的。
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