【第466章 實力?自研!】
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魏灼華話音落下,場中所有人的目光,都不約而同地落在了蘇誠身上。
“蘇總,這批東西你到底是哪裡來的路子?”
魏灼華又問了一遍,話語中帶著行家刨根問底的認真。
蘇誠笑而不語。
他當然不能說這光刻機是怎麼來的。
若真讓人知道係統的存在,隻怕自己明天就要被送去實驗室解剖研究了。
這走的每一步,靠的都是係統給的技術脈絡,可對外,他隻有一個說法——自研。
他迎著魏灼華的目光,臉不紅心不跳,語氣平靜卻擲地有聲:
“實力!我們華創自己研發的!”
“自研?”
魏灼華眉頭猛地一跳,眼底的震驚幾乎掩飾不住。
作為中芯國際的總工程師,他太清楚這193nm ArF光源步進掃描式光刻機是什麼概念了。
這可是量產90nm芯片的關鍵設備,光刻分辨率、套刻精度、產能,每一項都是世界頂尖難題。
放眼全球,能造出這等設備的,也就ASML、尼康、佳能那麼寥寥幾家,技術與專利壁壘厚得幾乎無法撼動。
他魏灼華在半導體行業摸爬滾打這麼多年,太明白這裡麵的分量了。
一家成立才一年的企業,說自研就自研出來了?
這話,他怎麼聽著都像天方夜譚。
“陳院士,梁工。”
周啟正也回過神來,聲音裡帶著幾分難以掩飾的質疑。
“你們二位,當真參與了這光刻機的研發?”
陳光南院士站了出來,神色坦然,聲音不高卻透著一股不容置疑的鄭重:
“周部長,這話不假。
90nm製程的燭龍一代芯片,是我主持設計的。
這光刻機能夠攻破,是梁總帶著團隊,一點一點啃下來的。
華創在這上麵的投入,我全程看在眼裡。”
梁景徽也上前一步,接著道:
“周部長,魏工,我梁景徽原本就是上海微電子出身,在光刻行業乾了十幾年了。
這193nm ArF光源、步進掃描式架構,光是光源穩定性、光學係統裝調、運動台精度這幾項,我們就反複試驗了無數輪。
華創能把它做出來,靠的是實打實的技術積累,不是空口白話。”
陳光南院士也在一旁補充道:
“不錯。
燭龍一代這顆90nm芯片,從設計到流片,每一步都是在華創自己的產線上驗證過的。
光刻機能跑通,芯片才能真正量產。
這兩者是相輔相成的關係,缺一不可。”
梁景徽點頭:
“陳院士說得對。
我們先把光刻機做出來,再用它去跑燭龍一代的流片。
一整套流程,都是我們自己從頭到尾打通了的。”
他頓了頓,又補了一句,話語裡帶著一個老光刻人的感慨:
“就說運動台和光學係統吧,2007年這個年頭,國際上能做高精度運動台的,也就那麼幾家。
光學鏡組更是得在納米級精度上做加工和裝調。
這些,我們都是一點點啃下來的,沒有半點捷徑可走。”
“這……”
周啟正一時語塞,喉頭動了動,卻說不出一句完整的話來。
他原本篤定蘇誠是在空手套白狼,篤定這家半路出家的公司拿不出真東西。
可現在……
陳光南——國內頂尖的芯片設計專家。
梁景徽——深耕光刻行業多年的工程師。
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兩人都親口證實了。
這分量,不容置疑。
魏灼華也徹底怔住了。
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