反應。
秋明軒站在講台側麵,等了幾秒鐘,然後朝許長庚點了一下頭。
許長庚按下總控台上的一個按鈕,機械臂重新伸出,把那片晶圓從真空台上取下來,送入顯影槽。
又過了大約四十秒。
機械臂再次伸出,把完成顯影的晶圓舉起來,送到舞台側麵一個獨立的小型檢測台前。
自動檢測探頭降下來,激光掃描頭在晶圓表麵快速來回走了兩遍。
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檢測台的屏幕上,一行數據跳出來。
秋明軒走過去,從機械臂上取下那片晶圓。
直徑三百毫米的圓形矽片,表麵覆蓋著一層肉眼幾乎無法分辨的微結構圖案。他舉著那片晶圓,走到舞台前沿,朝向台下兩千人。
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