第385章 光刻機交付

統整合、參數調優。有了天宇三大件（長天光學物鏡、天卓精密工件台、天虹激光光源）的強力支撐，他們終於把這塊最難啃的硬骨頭給砸碎了。

許晨看著眼前的設備，心裡同樣鬆了一口氣。

隻要這兩台設備運回鄭州，入駐軒轅半導體二期廠房，再經過幾個月的工藝參數調試和良率爬坡，天宇就能徹底擺脫對外部晶圓代工廠的依賴，真正實現芯片製造的自主可控。

“辛苦賀總工了。”許晨走上前，仔細端詳著光刻機的外殼，“接下來，浸沒式DUV的研發進度怎麼樣？”

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