【第57章 產線改造】
------------------------------------------
設備采購申請交上去,款項打入工業部指定賬戶之後,陳遠舟開始了漫長的等待。
那一個月裡,他每天都盼著電話鈴響,但又不敢催得太緊,生怕催急了反而耽誤事。
他隻能把精力投入到產線的日常維護和技術資料的準備上,讓自己忙得沒空去想這件事。
一個月後的一個清晨,電話終於響了。
部裡設備處的人通知他,設備已經到了北平火車站,正在安排轉運,預計當天上午送達廠區。
陳遠舟掛了電話,披上外套就往廠門口跑。
北平已經進入了冬季,天刮著西北風,氣溫降到了零度以下,哈氣成霜。
他裹著一件軍大衣,站在廠門口等著,眼睛一直盯著公路延伸過來的方向。
大約等了四十分鐘,遠遠看到三輛解放牌卡車裹著晨霧駛來,車鬥裡裝滿了用木箱打包好的設備。
最前麵那輛車的駕駛室裡坐著部裡設備處的老劉,他搖下車窗,朝陳遠舟喊了一聲:“陳總,貨到了!”
請記住我們的域名𝐨𝐨𝐩.𝐭𝐰
陳遠舟快步迎了上去,心裡懸了一個多月的那塊石頭總算落了地。
這三台設備——高精度氧化爐、低壓CVD設備、高溫退火爐——是通過部裡的國家采購渠道,從一家退役的國營半導體廠調配過來的二手設備。
價格比全新設備便宜了將近三分之二,而且成色不錯,據說原廠隻用了不到五年,保養得也很好。
陳遠舟在部裡看到設備評估報告的時候就心動了,當場就簽了采購協議。
卡車開進廠區,停在車間門口。陳遠舟叫上老周和幾個工人,一起動手卸貨。
木箱釘得很結實,撬杠撬了好幾下才打開。
打開之後,陳遠舟蹲下來,用手摸了摸設備表麵的漆麵,又打開控製櫃看了看內部的布線情況,滿意地點了點頭。
“老周,你來看看這台氧化爐。”他站起身,拍了拍手上的灰,“爐膛的保溫層看起來還不錯,加熱元件應該是換過不久的,狀態比我想象的好。”
老周湊過來,探頭看了看爐膛內部,又用手電筒照了照加熱元件的表麵,點了點頭:“確實不錯。這種老款的氧化爐雖然自動化程度不高,但勝在皮實耐用。隻要溫控係統沒問題,跑一兩微米的氧化層綽綽有餘。”
三台設備全部卸完、搬進車間之後,已經是下午兩點多了。
陳遠舟顧不上吃飯,跟老周一起把設備拆箱、清點、核對型號和配件,確認所有部件都齊全之後,才鬆了口氣。
“明天開始安裝調試。”陳遠舟對老周說,“爭取一周之內把這三台設備都跑通。”
老周點了點頭,但又補了一句:“遠舟,設備到位隻是第一步。真正難的,是怎麼把這些新設備和老產線整合到一起。氧化爐、CVD、退火爐這三台設備要插入到現有的CMOS工藝流程中間,涉及到的工藝參數調整和工序銜接,工作量可不小。”
“我知道,”陳遠舟說,“所以我才讓你提前帶著大家把IC卡芯片的技術方案吃透。方案熟了,改造的時候就知道每一步該怎麼走。今天先暫時把設備清點好,等明天正式開始改造工作。”
其實在過去的一個月裡,雖然設備還沒到貨,但陳遠舟沒有讓團隊閒著。
他把那套IC卡芯片的全套技術改造方案分發給了每一個人——老周、張磊、王軍,還有從華晶過來的那幾個老師傅。
他要求每個人不僅要看懂自己負責的那部分,還要對整個工藝流程有一個完整的理解。
。會論討術技開裡間車在午下天每,家大著帶周老
?決解麼怎?些哪有題問的現出能可?少多是圍範的數參藝工?件條備設的樣麼什要需?麼什是的目的序工道這:論討複反來出拿都序工道一每,序工道十幾成解拆程流藝工的片芯卡CI把們他
。赤耳紅麵得爭磊張跟會周老,據依定設的數參藝工個一楚清搞了為,候時有
。索摸新重件條備設的己自據根該應,線老寸英四的們他於用適定一不,的出得件條的線寸英八於基是據數的上獻文些那為認則周老,圍範數參的薦推上獻文外國考參該應為認磊張
。化優步逐中程過產試在後然,數參始初個一定設值驗經的周老按先——板拍舟遠陳是後最,誰了不服說也誰人兩
。點製控鍵關和係關接銜後前的序工道那的責負己自出說能都睛眼上閉人個每,心於熟爛程流藝工的片芯卡CI把經已隊團個整,候時的貨到備設到。月個一整整了續持會論討種這
。態狀佳最了到試調經已也,裡手的傅師老個幾那晶華在,線產老的來回運錫無從條幾那而
。掌指如了都備設台每的線寸英四對,年十二近將了乾晶華在,歲多十五,吳姓傅師老的頭帶
。了理清路管的理清該,了加油滑潤的加該,了換圈封密的換該,遍一了準校都度精的備設台每把,間時月個半了花,弟徒個幾著帶他
”。好要還候時的錫無在比,態狀的在現線條幾這,心放你,總陳“:說口胸著拍吳老,候時的查檢去舟遠陳
。動啟式正作工造改,貨到的備設著隨,天二第
。積沉層質介ONO、蝕刻與積沉矽晶多柵浮、長生層化氧道隧:序工的外額道三入插,中程流藝工礎基SOMC的線寸英四在是劃計的舟遠陳
。爐火退溫高和備設DVC壓低、爐化氧度精高——備設新台三那應對別分序工道三這
。雜複中象想比遠卻來起做,單簡來起說