深圳蛇口，海風掠過防風林，帶來濃鬱的鹹濕水汽。
在新建成的“燧人微電子”一期廠區深處，一座按照國際最高標準建造的百級超淨間正靜靜運轉。風機過濾單元發出低沉恒定的嗡鳴，將空氣中的微塵粒子死死壓製在每立方英尺不超過一百顆的極限潔淨狀態。
更衣室裡，陸子昂換上一套從頭裹到腳的白色防靜電連體服，套上乳膠手套和無塵靴，戴上護目鏡。
推開雙重風淋門，強勁的無菌氣流迎麵吹拂了整整三十秒。
走進黃色鈉光燈照耀的曝光車間，空氣中彌漫著高純異丙醇和光刻膠特有的微甜揮發氣味。車間正中央，那台從美利堅舊金山幾經輾轉運抵特區的美製雙麵接觸式光刻機正亮著綠色的電源指示燈。
梁教授和張博士正彎著腰站在物鏡旁，兩人的防護服後背已被汗水浸濕了一大片。
“陸總指揮，您可算趕到了！”梁教授透過護目鏡看到陸子昂，聲音裡透著按捺不住的緊繃，“第一批從西北基地空運過來的高純單晶矽片，已經在高溫擴散爐裡完成了五微米的二氧化矽熱氧化鈍化層生長。現在正在進行第一道多晶矽柵極掩膜曝光。”
工作台上，一隻特製的防震晶圓盒裡，整齊插著二十片直徑四英寸的鏡麵矽圓片。
每一片矽片表麵都呈現出極其純淨的深紫色乾涉光澤，薄如蟬翼，晶瑩剔透，正是西北無坩堝懸浮區域熔煉出來的99.9999%高純電子級原料。
“曝光情況怎麼樣？”陸子昂走到光刻機操縱台前，目光平靜地看向顯微對準目鏡。
張博士有些焦急地抹了把額頭的汗珠，指著旁邊的蔡司金相顯微鏡屏幕道：“剛才試了兩片，遇到了麻煩。我們自調的高純負性光刻膠在高速旋轉甩膠時，邊緣由於離心力表麵張力不均，出現了零點三微米的微小脫層；再加上紫外光源準直透鏡在長途海運中產生了微小的光軸熱應變，矽片邊緣的光柵線條出現了衍射乾涉條紋，三微米的柵極線寬被拉扯到了四微米以上！”
梁教授在一旁重重歎了口氣：“三微米工藝對線條公差的要求在正負零點一微米以內。要是線寬失控，漏極和源極就會擊穿短路。這台二手美製設備的物鏡光焦度參數被原廠鎖死了，我們沒有原廠專用校準儀，根本摸不透補償曲線。”
車間裡的氣氛瞬間凝重下來。幾個通宵值守的知青技術員緊攥著鑷子，連大氣都不敢喘。
為了這批宇航級芯片，南苑航天一院的運載火箭總裝已經進入了以天計算的倒計時。如果特區這裡的芯片流不出合格品，大國重器的數字化大腦就將徹底淪為空談。
陸子昂沒有絲毫慌亂。他伸手拉過顯微鏡的目鏡旋鈕，仔細觀察著矽片邊緣由衍射造成的乾涉光暈。
在閃回影像與深厚的微電子物理積澱中，早期接觸式光刻機的光學傳遞函數缺陷在他腦海中如同一副透明的矢量拓撲圖般清晰重現。
“不是透鏡壞了，是汞燈光源的波長譜線在經過三層反射鏡後產生了色差偏折。”陸子昂聲音沉穩有力，“拿內六角扳手和高純石英補償墊片來。”
陸子昂接過工具，動作極為嫻熟地拆開光刻機頂部的聚光鏡遮光罩。
他的手指沉穩而精準，輕輕旋動第二級凹麵反射鏡的三顆微調螺栓，將鏡片以逆時針方向微調了三度四十五分，隨後在光路中插入了一片厚度僅為零點一毫米的超薄光學石英片，用以中和邊緣雜散色散。
“勻膠機的轉速曲線也要改。”陸子昂轉過身，在操縱麵板的電位器上重新設定參數，“不要用一千五百轉恒速甩膠。改成階梯式升速：前三秒五百轉均勻鋪展，中間五秒迅速拉升至三千兩百轉甩去多餘膠液，最後兩秒降速至一千八百轉進行邊緣平滑收口。”
梁教授和張博士看得目瞪口呆。這套精妙絕倫的光機電協同補償手法，即便是矽穀英特爾總部的資深工藝大師也未必能運用得如此舉重若輕。
“立刻重新取樣，開始第二輪曝光！”梁教授回過神來，激動地大聲指揮。
機械手臂平穩吸起一片嶄新的高純矽片，放入旋轉吸盤。
淡黃色的光刻膠滴落在晶圓中央，隨著階梯式轉速的飛旋，一層薄如蟬翼、厚度僅為一點二微米的均勻膠膜瞬間在矽片表麵鋪開，邊緣平滑得宛如靜水鏡麵。
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矽片被送入光刻承載台。陸子昂親自俯身，雙手穩穩操縱微米級千分尺旋鈕，將掩膜版上的微觀集成電路圖形與矽片基準點精確對準。
“真空吸附，紫外曝光，三點二秒！”
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