的眼睛越不由自主地睜大。
他時不時彎下腰,想湊近觀察進料口和光源係統。
然而他的手指始終懸在空中,想摸又不敢摸。
就這麼看了幾分鐘,他才聲音有些發顫地問了一句。
“許總……這是EUV極紫外光刻機?”
許凱聞言笑了笑,靜靜地站在他旁邊,語氣淡定道。
“沒錯。”
“這套設備包括主機、光源、掩膜台、投影物鏡係統。”
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“還有後麵的塗膠顯影機和蝕刻機,全套都在。”
聽到許凱的話,錢正宇猛地直起身,忍不住深吸了一口氣。
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