第498章 廢寢忘食

光學係統是光刻機的核心，尤其是光源校準模塊。

既要保證激光波長的穩定性，又要解決光束傳輸中的損耗問題。

哪怕0.01微米的偏差，都會讓芯片光刻精度大打折扣。

幾個小時後，

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他揉了揉發脹的太陽穴，隨手拿起桌上的咖啡抿了一口，苦澀的液體沒能驅散倦意。

腦海裡反複推演著光路設計，之前順手畫的外部框架，不過是搭建了外骨架。

而內部的光學腔體、能量控製單元、光柵定位係統，才是真正的核心，每一個環節都得做到極致。

這時，趙清影站在了玻璃門外，看著一臉認真的楊明，心疼的紅了眼睛。

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