【第506章 向尖端邁進！】
------------------------------------------
三天後，
第二批設備到港了。
楊明對著陸銘吩咐：
“陸哥，把設備直接拉到總部大樓，這幾天辛苦你了，咱們這邊的設備也組織一下，趁現在一並搬了吧。”
陸銘指間夾著煙，忙不迭的點頭：
“我有什麼辛苦的，倒是你最近忙壞了，公司、中科院兩頭跑，抽出點時間陪陪弟妹她們。”
“哈哈哈…知道了陸哥，最近能在突破技術屏障，極紫外光源要是能問世，咱們就輕鬆點了。”
楊明將煙掐滅，拿起包站了起來，
“好了陸哥，我先不跟你說了，今天薛主任也去中科院，我得早點過去。”
“好，我也該出發了！”
楊明剛走到門口，對著陸銘補充道：
“對了陸哥，那台中端設備直接拉到十樓的研發中心單獨擺放，順便再放一台低端的機器，我好做比對！”
“明白！調試好我給你打電話。”
“嗯，走了！”
中科院的光學實驗室裡，身著無菌服的科研人員正圍繞著半成型的光學係統忙碌。
薛主任早已在實驗室門口等候，見到楊明進來，當即迎上前：
“楊明，你要的超精密光學檢測數據出來了，物鏡麵型精度能做到0.3nm ，咱們試製的樣品目前是0.5nm，差距還在，但比上個月縮小了一半。”
楊明換上無菌服，走到檢測儀器前，透視眼穿透物鏡的多層鏡片，將每一處細微的光學誤差都清晰捕捉。
他指著屏幕上的波形圖：
“問題出在第三層透鏡的邊緣曲率，還有鍍膜的均勻性偏差。
把透鏡基材的溫度控製一下，鍍膜時采用分區濺射工藝，每平方毫米的粒子密度誤差要控製在千分之三以內。”
中科院的李院士聞言眼睛一亮，立刻吩咐團隊調整參數：
“楊總太關鍵了！之前我們用了三台乾涉儀都沒找到核心問題，這樣調整下來，麵型精度有望突破0.4nm。”
楊明搖搖頭：
“0.4nm還不夠，要做就做到國際頂尖水平。”
他拿出筆記本電腦，調出優化後的光學模型，
獲取最新章節更新，請訪問𝑜𝑜𝑝.𝑡𝑤
“這是我昨晚做出來3D模型，重新設計的透鏡組排列方案，能減少30%的光線損耗，套刻精度也能提升到1nm級別。”
就在眾人圍著方案討論時，楊明的手機突然響起，是軍工的張總打來的：
“楊總，好消息！高端物鏡的樣品試製成功了，各項指標都達到了你給的標準，現在正在做穩定性測試，連續工作72小時無故障！”
“太好了！”
楊明的聲音難掩激動，
“立刻安排物流，把樣品送到中科院，我們同步進行光學係統的組裝調試。”
掛了電話，薛主任感慨道：
“原本以為至少要三個月才能看到成品，沒想到你們硬是提前了。
現在極紫外光源和高端物鏡都差不多了，國產光刻機原型機的組裝就能進入衝刺階段了。”
楊明點點頭，目光落在實驗室屏幕上的各項數據上：
“要是按照現在的進度，之前我所承諾的時間起碼能省上一半。”
他轉頭看向李院士，
“光學係統是核心，接下來的一周，我們一起盯著組裝過程，不能有任何紕漏。”
接下來的七天，楊明幾乎吃住都在實驗室。
在他透視眼的全程把控下，物鏡與光源的對接精度達到了納米級，光學係統的調試一次成功。
當最後一塊鏡片安裝到位，檢測儀器顯示各項參數均優於設計標準時，實驗室裡爆發出熱烈的歡呼。
。成完利順也遷搬部總的團集揚名，時同此與
。全俱應一室驗實試測、間車產生、心中發研，裡樓大部總的成落新
。線產生發研機刻光的整完條一了成構，統係製控的發研主自到床機密精超的製定工軍從
。心中發研樓十部總新駐進隊團心核著帶明楊，天二第的功成試調統係學光
。簾眼入映便備設的放擺列並台兩，門進一剛
。機樣端中口進是則側右，機刻光端低mn82的產量現實已是側左
”。試測比對動啟，文阮“
。現呈晰清都異差處一每，徑路焦聚鏡物到導傳量能源光從，件部心核的備設台兩透穿眼視透啟開即隨明楊
。%3.4至降接直率耗損，下持加的組鏡透化優在機樣端中而，%21在定穩率耗損量能的備設端低，動跳時實線曲數參條兩，上幕屏
”！片芯mn41出產定穩能全完備設端中，據數個這照按，總楊“
。抖顫的住不製抑著帶音聲，果結試測的上幕屏著盯文阮
。奮振是滿上臉，數參的期預超遠些那著看，來過攏圍紛紛們員人術技的邊旁
”！破突行進再取爭們我，夠不還“
。手上不搭全完，著看旁一在站的傻傻能隻人行一的院科中
。異差的間之備設台兩了現發便快很明楊，下之視透
。分之端低中的生產而從，題問的生產鏡物端高和源光外紫極是還，底結根歸
”。級升續繼再得還，啊行不是還鏡物和源光的們咱“
。重凝分幾了多上臉人眾，複平稍稍兒勁奮興的裡室驗實，落剛音話的明楊
：圖比對數參的上幕屏著盯，前上走士院李
。距差小不有還，比程製mn5、mn7的尖頂際國和但，頸瓶的前此們我了破打經已然雖mn41，對得說總楊“
”？哪在點難，話的級升再，平水優最的到做能前當是經已鏡物端高和源光外紫極可
。裡野視的眼視透，前型模D3到圍家大意示手抬明楊
