五月八日上午十點整。
燕山百級超級潔淨大廳氣閘門前,綠燈長鳴。
“百級潔淨區塵埃粒子計數歸零。”技術員在對講機裡報告。
科技部李建國司長身穿全套白色防塵服,在三位中科院光學院士陪同下緩步走入。
空氣中彌漫著高純氮氣微弱的清冽氣息。
車間中央特種減震花崗岩平台上,高三米、重達兩噸的銀灰色鈦合金鏡筒巍然矗立。
“這就是赤烏零一號深紫外投影物鏡?”李建國目光停在鏡筒上。
張紅旗走上前:“報告李司長,二十四塊非球麵透鏡已全部入筒合攏完成。”
“光學同軸度與同心度校準得怎麼樣?”中科院泰鬥孫院士扶了扶防塵鏡嚴肅詢問。
唐國維站在主控台前朗聲答複:“納米級微動機械手已鎖死偏擺,軸心偏差小於零點零五角秒!”
“壓電陶瓷執行器的動態微調響應如何?”孫院士又問。
“全鏡筒配備六十四路微驅動傳感,響應時間在兩毫秒以內!”沈研究員迅速切出控製界麵。
孟師傅站在總裝台旁,雙手自然垂在腰際,胸膛挺得筆直。
“老孟師傅,您親手切出的透鏡,今天可要見真章了。”李建國微笑著看向老工匠。
“李司長放心!”
孟師傅高聲應答:“二十四塊鏡坯老頭子拿命試過,絕不給國家掉鏈子!”
全場專家學者肅然起敬。
此時此刻。
北京半島酒店豪華套房內,煙霧繚繞。
東京尼康駐華首席代表黑澤宏一握著加密電話,神情近乎猙獰。
“喂,高橋專務!”黑澤宏一急促彙報,“際華今天上午就要強行點亮物鏡總成!”
電話那頭傳來東京總部的冷嗤:“二十四塊大口徑非球麵透鏡,哪怕蔡司也要調校半年。”
“中方連合格的研磨懸浮液都被扣押,倉促拚湊起來的散件,必定產生嚴重像差與散光。”
“你立刻通知各駐華外媒,隻要他們點亮失敗,就公開質疑其芯片工程是一場騙局!”
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黑澤宏一獰笑點頭:“明白,外媒記者已經在燕山廠區門外就位了!”
電話猛然掛斷。
與此同時,燕山百級潔淨大廳內。
“準分子激光光源預熱完畢,波長一百九十三納米!”技術員大聲報數。
“光路淨空良好,充氮保護艙氣壓正常!”沈研究員迅速確認參數。
張紅旗與李建國並肩站在總控台前。
“紅旗,準備好了嗎?”李建國沉聲詢問。
張紅旗平靜而有力地下令:“赤烏零一號物鏡總成,通電點亮!”
唐國維深吸一口氣,重重合上了高壓放電總開關。
“主放電電壓兩萬八千伏,脈衝頻率兩百赫茲!”操作員高聲報數。
高能深紫外準分子激光管亮起刺目的幽藍冷光。
激光束如同一支極細的神箭,筆直打入物鏡第一道透鏡組。
高純度氟化鈣晶體泛起冰藍色的光暈。
穿透深藍色的抗反射增透膜,高能光束在二十四塊透鏡之間逐級聚焦折射。
光能量監測屏幕上,二十四條綠色波形如排浪般接連跳躍升騰!
“第一組勻光透鏡,透過率百分之九十九!”唐國維雙眼死死盯著示波器。
“第二組消像差雙曲麵鏡,焦距偏離零點零一納米!”沈研究員大聲補充。
“能量傳導平穩,沒有光斑發散!”
全場數百名科學家與老工匠屏住呼吸,車間內隻聽見激光脈衝規律的啪啪聲。
激光穿透最後一枚高純氟化鈣凸透鏡,投射在下方的晶圓載物台上。
塗布著太行零一號光刻膠的高純矽片,散發著幽微光澤。
“光斑聚焦完成,全視場無像散!”唐國維死死盯著焦麵監控屏喊道。
載物台上的光斑極致凝結,沒有任何彗差,沒有任何枕形畸變。
“送顯影軌道機,進行微觀形貌複核!”張紅旗果斷揮手。
兩名特級實驗員小心翼翼取出曝光矽片,送入潔淨室側翼的顯影塗膠聯動機。
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