當晚九點。
上滬晶圓基地,地下應急會議室。
所有手機、手表、無線設備全部封存。
門外三道崗。
門內坐滿了人。
半導體院士。
光學專家。
材料廠負責人。
晶圓廠廠長。
軍工代表。
中樞特派人員。
還有從京城緊急接入的李援朝、王衛國、吳建邦、石磊。
會議室中央,A-17樣片的掃描圖掛在主屏上。
那條從廢品裡抽出來的勢能穀線,紮進每個人心裡。
秦立成坐在靠邊位置,眼眶還有點紅。
他已經讓人查顧景山。
可這個名字離開體係太久,能查到的東西不多。
許燃站在白板前,沒有開場白。
“燭龍升級方案。”
第一行字落下。
會議室瞬間安靜。
許燃寫下四個詞。
【負折射邊緣態物鏡】
【多極勢阱】
【表麵勢能模板】
【受控原子自組裝】
張懷民盯著白板。
“你要正式放棄縮小投影?”
“對。”
許燃轉身。
“傳統EUV的核心邏輯,是把圖案縮小後投到晶圓上。”
“光源越短,物鏡越強,掩膜越精,圖案越細。”
“這條路能走。”
“西方走了幾十年。”
“問題是,他們把每個路口都修成收費站。”
“我們不在收費站排隊。”
他點開下一頁。
屏幕上,燭龍底座的局部結構出現。
這一次,比大會上多開放了幾層參數。
不少專家一眼看過去,後背發緊。
環形量子光場陣列。
負折射物鏡組。
原子源控製腔。
多極電磁約束層。
晶圓表麵勢能模板接口。
許燃指著結構圖。
“燭龍不做縮小投影。”
“燭龍做晶體級製造。”
“用負折射邊緣態物鏡生成超分辨光場。”
“用多極勢阱鎖定原子沉積位置。”
“用電磁場修正原子遷移路徑。”
“用表麵化學模板給晶圓寫入勢能差。”
“最後,讓材料從下往上長成邏輯結構。”
會議室靜了兩秒。
隨後,質疑炸開。
一名材料院士直接站了起來。
“許燃,原子不是棋子。”
“熱噪聲、表麵擴散、吸附能差,一堆變量。”
“你讓它站哪兒就站哪兒?”
另一個晶圓廠負責人接話:
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“就算能站住,產能呢?”
“我們不是實驗室做紀念章。”
“一條線一天要跑多少片?”
“客戶不會等你慢慢擺原子。”
設備企業總師也皺眉。
“晶圓表麵缺陷怎麼辦?”
“顆粒、台階、應力、雜質。”
“傳統光刻已經被缺陷折磨得要命。”
“你原子級製造,缺陷放大後隻會更要命。”
軍工代表敲了敲桌子。
“還有可靠性。”
“邏輯單元能算一千組隨機布爾運算,不代表能過高低溫、衝擊、輻照和長壽命。”
“軍用芯片,不能隻看開機亮不亮。”
石磊在視頻裡也撓頭。
“我聽著都覺得細。”
“像拿筷子夾沙子。”
吳建邦瞪他。
“你不會說話就少說。”
石磊理直氣壯。
“我這叫比喻。”
會議室裡有人低笑。
緊張氣氛被他攪開半寸。
許燃沒有急著反駁。
他看向周群。
“接盤古平台。”
周群點頭。
“已接入離線推演庫。”
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