風華半導體研究院的深夜裡,燈光依舊通明。
材料實驗室裡,李振華教授盯著顯微鏡,眉頭緊鎖。旁邊的工作台上,散落著幾十個玻璃皿,每個裡麵都裝著不同配比的材料樣品。有的顏色暗淡,有的表麵粗糙,有的已經開裂。
“還是不行。”李教授直起身,揉了揉發酸的眼睛,“第三十七次實驗,光譜特性還是達不到要求。”
助手小陳遞過來一杯濃茶:“教授,您已經連續工作了十八個小時,休息一會兒吧。”
“沒時間休息。”李教授接過茶杯喝了一口,“光源材料是EUV的命門,這個坎過不去,後麵的一切都是空談。”
他看著那些失敗的樣品,心中湧起一股無力感。在美國的實驗室,他有最先進的設備,最純的原料,最全的數據庫。可在這裡,設備是二手的,原料要自己提純,數據要自己積累。每一項實驗,都要付出幾倍的努力。
“教授,要不要試試那個思路?”小陳小心翼翼地問。
“哪個思路?”
“就是您昨晚說的,用多層薄膜結構,模擬單一材料的特性。”小陳說,“雖然工藝複雜,但至少理論上可行。”
李教授沉思著。這個思路是他昨晚突發奇想想出來的,但實現難度極大。需要精確控製每一層薄膜的厚度,誤差不能超過納米級別。以他們現有的設備,幾乎不可能做到。
“設備精度不夠。”他搖頭。
“我們可以改造設備。”一個聲音從門口傳來。
張建國走了進來,手裡拿著幾份圖紙:“李教授,你看這個。我們的機械工程師設計了新的夾具和控製係統,能把現有鍍膜機的精度提高一個數量級。”
李教授接過圖紙,仔細研究。圖紙設計得很巧妙,用機械補償的方式,彌補了設備精度的不足。雖然比不上最先進的設備,但確實有可能實現納米級的控製。
“誰設計的?”他驚訝地問。
“小王,就是那個提出降頻方案的年輕人。”張建國笑道,“他說既然買不到好設備,就把現有的設備改造到最好。”
李教授感慨:“真是江山代有才人出啊。好,就按這個方案試試。小陳,準備材料,我們今晚就做第一次試驗。”
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“是!”小陳興奮地跑向庫房。
張建國看著李教授布滿血絲的眼睛,忍不住勸道:“教授,您還是休息一下吧。這樣連軸轉,身體會垮的。”
“張總,你不也在連軸轉嗎?”李教授反問,“我剛才路過光學實驗室,看到你帶著人在調試鏡麵拋光機,也是通宵吧?”
張建國苦笑:“沒辦法,時間不等人啊。韓總那邊壓力很大,手機業務等不起。我們早一天突破,風華就早一天擺脫困境。”
兩人相視苦笑。他們都是經曆過困難年代的人,知道什麼是“爭氣”。隻是這一次,爭的不隻是一口氣,更是一個產業的未來。
淩晨三點,材料實驗室裡依然燈火通明。改造後的鍍膜機發出低沉的嗡鳴聲,機械臂在精密導軌上移動,將一層層薄膜沉積在基片上。
李教授和小陳緊緊盯著監控屏幕,上麵的數據曲線如同心跳般波動。
“第一層完成,厚度偏差百分之零點三。”
“第二層完成,厚度偏差百分之零點二。”
“第三層......”
當第十二層薄膜沉積完成時,小陳激動地喊道:“教授,成功了!十二層薄膜,總厚度偏差控製在百分之一以內!”
李教授看著屏幕上的數據,長長舒了一口氣。雖然離理想值還有差距,但至少證明這個思路是可行的。
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