我來把握。”
接下來的一周，陳雪茹參觀了研究院，見了團隊的主要成員。她表現得很專業，問的問題都在點子上，提的建議也很中肯。
“你們的光學係統做得很好，但工藝匹配性可能有問題。”在參觀樣機時，她對李教授說，“EUV的光刻工藝很敏感，對材料的均勻性、表麵的清潔度、環境的穩定性要求極高。你們在設備層麵解決了問題，但工藝層麵還需要大量工作。”
“你說得對。”李教授說，“我們正在組建工藝團隊，但缺乏經驗。如果你能來，這塊就能快速突破。”
“我願意。”陳雪茹說，“但我有個條件——我要有足夠的自主權。工藝開發是一個係統工程，需要統籌設備、材料、環境、人員。如果處處受製，很難做出成果。”
“這個可以談。”韓風說。
經過幾次深入交流，雙方達成了共識。陳雪茹擔任工藝開發總監，帶一個五人團隊加入。待遇不是最高，但有充分的自主權和決策權。她的團隊負責將EUV設備轉化為可用的生產工藝，目標是六個月內，拿出完整的工藝方案。
簽約那天，陳雪茹感慨地說：“韓風，謝謝你給我這個機會。在英特爾十年，我學到了很多，但也失去了很多。現在回來，像是找到了根。”
“歡迎回家。”韓風真誠地說。
陳雪茹和團隊的加入，像一股新鮮血液，給研究院帶來了新的活力。他們帶來了國際先進的工藝理念和方法論，也帶來了嚴謹的工作習慣和係統思維。
工藝開發很快步入正軌。陳雪茹組織團隊，製定了詳細的工藝開發計劃，從基礎研究到工程驗證，從單步工藝到整合流程，每一步都有明確的目標和時間節點。
“EUV工藝的關鍵是穩定性。”她在第一次工藝會議上說，“納米級的精度，意味著任何微小的波動都會影響結果。我們要做的，不是追求最高的性能，而是追求最穩的性能。穩了，才能量產，才能商用。”
這個思路得到了團隊的認同。之前他們過於追求性能參數，忽視了穩定性問題。陳雪茹的到來，糾正了這個偏差。
工藝開發迅速展開。材料組研究光刻膠的特性，設備組優化工藝參數，環境組控製潔淨度，整合組協調各環節。大家分工合作，效率很高。
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一個月後，工藝團隊拿出了第一版工藝方案。在樣機上進行了首次工藝驗證，結果令人振奮——28納米線條的光刻成功率達到了百分之九十，14納米達到了百分之八十五，7納米達到了百分之八十。
雖然還有提升空間，但已經證明了工藝的可行性。
“很好！”韓風在工藝評審會上說，“這個起點很高。接下來，我們要優化，要穩定，要可重複。”
“我們已經在做。”陳雪茹彙報，“第二版工藝方案重點解決穩定性問題。我們引入了統計過程控製（SPC），實時監控關鍵參數，及時發現和糾正偏差。目標是將波動控製在正負百分之五以內。”
“需要什麼支持？”
“更多的測試機會。”陳雪茹說，“工藝開發需要大量的實驗數據。我們請求增加樣機的工藝測試時間，從現在的每天八小時增加到每天十六小時。”
“可以。”韓風拍板，“工程樣機的測試已經基本完成，可以轉入工藝開發階段。從明天起，樣機白天做工藝測試，晚上做設備維護。我們要搶時間。”
有了韓風的支持，工藝開發加速推進。陳雪茹和團隊吃住在研究院，每天工作十四五個小時。她的專業和敬業，很快贏得了團隊的尊重。
但也不是一帆風順。一次工藝實驗中，由於操作失誤，導致一批珍貴的測試矽片報廢，損失幾十萬元。負責的年輕工程師很自責，提出了辭職。
“失誤是難免的。”陳雪茹在團隊會議上說，“我在英特爾時，也犯過更嚴重的錯誤。關鍵不是不犯錯，而是從錯誤中學習。這批矽片報廢了，但我們知道了那個操作不能那麼做。這個經驗，值幾十萬。”
她的話讓團隊釋然。年輕人收回了辭職信，表示會更加小心。
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