國家發改委考察團的到來,讓整個風華半導體研究院進入了高度緊張的狀態。
上午九點,三輛黑色轎車駛入院內。帶隊的是發改委高技術產業司的劉司長,五十多歲,頭發花白,但目光銳利。陪同的有工信部、科技部的官員,還有幾位行業專家。
韓風帶著核心團隊在門口迎接。
“劉司長,歡迎歡迎。”韓風上前握手。
“韓總,久仰大名。”劉司長握手的力度很大,“你們的EUV項目,可是牽動了中央領導的心啊。”
一行人進入會議室。簡單的寒暄後,考察正式開始。
韓風先做了總體彙報,從項目背景、技術路線、進展成果到未來規劃,條理清晰,數據詳實。當他展示出量產機型的CAD設計圖和工藝測試數據時,考察團的專家們紛紛點頭。
“從樣機到量產,你們準備用多長時間?”劉司長問。
“一年完成驗證,兩年實現小批量生產,三年達到規模化量產。”韓風回答,“這個時間表很緊,但我們的團隊有把握。”
“把握從哪裡來?”
“從我們積累的技術基礎,從我們建立的工藝體係,從我們培養的人才隊伍。”韓風說,“更重要的是,從我們背水一戰的決心。”
劉司長點點頭,轉向身邊的一位專家:“王院士,您怎麼看?”
王院士是半導體裝備領域的權威,白發蒼蒼,但精神矍鑠。他扶了扶眼鏡:“技術路線是對的,進度也是實的。但我最關心的是產業化的問題——你們的設備造出來,誰來用?怎麼用?”
“這正是我們要解決的問題。”韓風說,“我們已經和國內主要的芯片製造企業進行了接觸,中芯國際、華虹、華潤微都表示有興趣試用。我們計劃采取‘試用-改進-采購’的模式,先用免費試用讓客戶零風險體驗,再根據反饋優化,最終實現銷售。”
“價格呢?”
“預計售價是ASML同類型設備的60%。”韓風說,“服務方麵,我們可以提供更靈活的定製化方案,響應速度也會更快。”
劉司長記錄著什麼,又問:“供應鏈呢?關鍵部件能不能保證?”
“這是我們正在重點攻關的。”張建國接過話頭,“光學係統、真空係統、控製係統,這些核心部件我們都已經實現了自主設計。特種材料方麵,李教授他們取得了突破,鏡片材料已經可以自主生產。當然,有些通用部件還需要進口,但我們正在尋找替代方案,或者與國內供應商聯合開發。”
考察持續了整整一上午。團隊帶著考察團參觀了實驗室、測試車間、裝配線。在量產機型裝配現場,劉司長停留了很久。
“這台設備,什麼時候能完成總裝?”他問。
“下個月。”張建國回答,“然後會進入三個月的調試期,再進入六個月的工藝驗證期。如果一切順利,明年這個時候,就可以交付第一台試用機。”
“投資回報周期算過嗎?”
韓風點頭:“算過。單台設備的毛利率在35%左右,投資回收期大約五年。但我們的目標不是靠賣設備賺錢,而是通過設備國產化,降低國內芯片製造企業的成本,提升整個產業的競爭力。”
“這個思路好。”劉司長讚許道,“裝備國產化,不能隻看設備本身賺不賺錢,要看對整個產業的帶動作用。”
中午在研究院食堂簡單用餐後,下午的討論更加深入。這次談的是政策支持、資金保障、人才引進等實際問題。
“韓總,說實話,你們這個項目,中央很重視。”劉司長放下筷子,“但光重視不夠,還要有實實在在的支持。你們需要什麼?儘管提。”
韓風想了想:“第一,是市場支持。希望國家能出台政策,鼓勵國內芯片製造企業優先采購國產設備,至少在試用階段給予補貼或稅收優惠。”
“這個可以考慮。”
“第二,是人才支持。EUV是高度複雜的係統,需要跨學科的高端人才。我們希望國家能在人才引進、落戶、子女教育等方麵給予特殊政策。”
“這個已經在研究了。”劉司長說,“發改委正在牽頭製定《高端裝備產業人才專項計劃》,你們可以作為試點。”
“第三,是資金支持。”韓風頓了頓,“產業化階段需要大量資金投入,光靠我們自己的積累和風險投資是不夠的。希望國家能設立專項基金,或者提供低息貸款。”
劉司長記錄著:“這些我都會帶回去研究。不過韓總,你也知道,國家支持是有條件的——你們必須拿出實實在在的成果,必須真正實現產業化。”
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