”韓雪說，“我要記錄這曆史性的一刻。”
“好，但要注意安全，別影響正常工作。”
“明白！”
七點半，車隊到達中芯國際。王總親自在門口迎接。
“韓總，歡迎。”王總握手，“設備直接運到潔淨車間，我們的工程師已經準備好了。”
“好。”
設備卸車、搬運、安裝，花了三個小時。中午十二點，設備安裝完畢，開始調試。
風華半導體的工程師和中芯國際的工程師一起工作，檢查每一個係統，測試每一個參數。
韓風站在車間外，透過玻璃窗看著裡麵忙碌的身影。他的手心全是汗。
陳雪茹走過來：“韓總，別擔心，調試很順利。”
“工藝材料準備好了嗎？”
“準備好了，中芯國際提供的測試矽片，和我們實驗室用的是同一批次。”
下午兩點，調試完成。設備進入預熱狀態，準備進行第一次工藝測試。
“韓總，可以開始了。”張建國彙報。
韓風深吸一口氣：“開始。”
所有人屏住呼吸。工程師按下啟動按鈕，設備開始運行。激光器發出微弱的光芒，工作台緩緩移動，真空係統發出低沉的嗡鳴。
十分鐘後，第一次曝光完成。芯片被取出，送往檢測室。
等待結果的時間，像是一個世紀那麼漫長。
韓風站在檢測室外，能聽到自己的心跳。成敗在此一舉。
二十分鐘後，檢測室的門開了。中芯國際的工藝工程師走出來，臉色凝重。
韓風的心一沉。
“結果......怎麼樣？”他問。
工藝工程師看著韓風，突然笑了：“成功了！5納米線條，清晰完整，完全合格！”
“真的？”韓風不敢相信。
“真的！您自己看！”
韓風衝進檢測室，看到電子顯微鏡下的圖像——5納米的線條整齊排列，邊緣清晰，完全符合要求。
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“成功了！”他激動地擁抱身邊的張建國。
“成功了！”團隊歡呼起來。
王總也進來了，看著檢測結果，連連點頭：“好，好！韓總，恭喜！”
“謝謝王總給我們這個機會！”
第一次測試成功，讓大家信心大增。接下來進行了連續十次測試，全部成功。
“韓總，設備穩定性很好。”中芯國際的工程師說，“比我們預想的還要好。”
韓風長出一口氣。最難的關過了。
試用將持續一個月，進行各種工藝驗證和穩定性測試。但隻要第一次成功，後麵的問題就好解決了。
晚上，中芯國際安排了慶功宴。王總舉杯：“韓總，今天的結果證明了，國產EUV是可行的。我代表中芯國際，正式宣布，試用期結束後，我們將采購五台設備！”
掌聲雷動。
韓風激動地說：“謝謝王總的信任！我們一定不負所托，提供最好的設備，最好的服務！”
宴會上，大家開懷暢飲。三年的艱辛，在這一刻得到了回報。
韓風喝了不少酒，但頭腦清醒。他知道，這隻是一個開始。後麵還有量產、交付、維護、升級......路還很長。
但至少，他們邁出了最關鍵的一步。
宴會結束後，韓風回到公司。雖然已經晚上十點，但很多員工還沒走，都在等消息。
看到韓風回來，大家圍上來。
“韓總，怎麼樣？”
韓風看著一張張期待的臉，大聲宣布：“試用成功了！中芯國際決定采購五台設備！”
“太好了！”
“我們成功了！”
“國產EUV萬歲！”
歡呼聲、掌聲、哭聲......各種聲音交織在一起。很多人相擁而泣，三年的壓力在這一刻釋放。
韓風也眼眶濕潤。這一路走來，太不容易了。
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