別！”
第二個問題，則是材料科學的終極挑戰——互連線電阻。
“當線路寬度縮減到1nm級別時，傳統的銅互連導線會遇到災難性的電阻率飆升問題。電子在如此狹窄的通道中移動，會頻繁地與導線晶格的邊界和表麵發生散射，導致電阻急劇增大，信號延遲，功耗爆炸。這就是‘尺寸效應’。繼續用銅，等於修了一條隻有一個車道的高速公路，瞬間就會堵死。”
“必須尋找新的互連材料！鈷？釕？石墨烯？”
無數種前沿材料的物理參數在他腦中飛速閃過，進行著億萬次的模擬和匹配。
“鈷和釕比銅好，但提升有限。石墨烯理論上完美，但目前的製備工藝還無法滿足晶圓級大規模、無缺陷的製造要求……”
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突然，一個被他從知識庫深處挖掘出來的、融合了多種技術的解決方案，在他腦海中閃耀出璀璨的光芒。
“有了！”
陳啟明的嘴角微微上翹。
“晶體管，采用多層堆疊的環繞柵極納米片（StackedNanosheetGAA）結構！光學係統，設計一套全新的、包含八塊非球麵變形鏡的0.55High-NAEUV光路！互連材料，放棄單一材料方案，采用‘釕-石墨烯’複合薄膜技術，利用原子層沉積（ALD）技術，先鋪設一層超薄的釕作為黏合與阻擋層，再在上麵原位生長單晶石墨烯作為核心導電層！”
這三大核心突破，如三根擎天之柱，瞬間撐起了一座前所未有的科技殿堂！
原本隻是模糊的想法，在這一刻變得無比清晰。
無數關於物理、材料、光學、精密控製等的公式和參數在他腦中自動排列組合。他甚至不需要紙和筆，整個設計過程都在他的腦海中以超越超算的速度進行著。
每一塊反射鏡的曲率參數、每一個支撐結構的拓撲構型、每一道製造工序的溫度和壓力……所有的一切，都以最完美、最合理的方式組合在一起。
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