801項目組的第二次全體會議,氣氛比上一次要沉重得多。
如果說上一次會議是“吹響號角,鼓舞士氣”,那麼這一次,就是“直麵現實,正視差距”。
巨大的會議桌上,攤著寫滿了“不具備”的摸底報告。
每一個刺眼的紅色叉號,令在場不少專家的肩膀都垮了下來。
“同誌們,情況就是這麼個情況。”
林振的目光平靜的掃過眾人,眉宇間一片舒展,看不到半點陰霾。
“我們想吃肉,可現在別說肉了,連口鍋都沒有。甚至連柴火,都得自己去山上砍。”
他這個比喻,讓會議室裡沉重的氣氛,稍微緩和了一點。
“但是,”林振看著眾人臉上或凝重或茫然的表情,“我從來不覺得,不具備,就等於不可能。”
他走到黑板前,拿起粉筆。
“今天,我們不談困難。我們就談一件事:怎麼把這些不具備,變成具備。”
他把報告裡列出的七大缺口,一一寫在黑板上。
高純矽片、光學玻璃、光刻膠、掩膜版、工件台、潔淨室……
“這些東西,不是孤立的。”
林振說道。
“光刻機,不是一台孤零零的設備。它是一個龐大係統工程的最終產物。它的背後,是整個半導體材料和工藝的支撐。”
“所以,我們的801工程,不能僅僅是一個光刻機攻關項目。它必須是一個半導體全產業鏈自主化攻關項目。”
“從拉製單晶矽的爐子,到研磨鏡片的磨料,從提純化學試劑的設備,到淨化空氣的過濾器,所有的一切,我們都要自己做!”
林振的這番話,讓所有人都倒吸了一口涼氣。
隻造一台光刻機,就已經難如登天了。
現在,還要把整個產業鏈都給包了?
這……這胃口也太大了吧!
就在眾人議論紛紛,覺得這個目標太過宏大,不切實際的時候。
魏雲夢站了起來。
她走到另一塊黑板前,一言不發,開始在上麵書寫。
她寫的,是一套複雜的數學模型,名為“總誤差預算分配模型”。
“這是我根據林振提出的六大係統,建立的初步誤差模型。”
魏雲夢寫完最後一個符號,清冷的聲音響徹全場。
“根據初步估算,如果我們第一代光刻機的目標線寬是10微米,那麼,整機的套刻精度誤差,必須控製在1微米以內。”
“這個1微米的誤差,是由六大係統的所有誤差,疊加而成的。”
她指著黑板上密密麻麻的公式。
“這裡麵,包括了鏡頭畸變帶來的光學誤差,工件台運動帶來的機械誤差,掩膜版製造帶來的圖形誤差,溫度變化帶來的熱形變誤差,等等等等,總共一百七十多個誤差源。”
“如果我們簡單地把各個係統的誤差,直接相加。那麼,就算每個係統都做到了我們目前能達到的最好水平,最終的累積誤差,也會超過五十微米。”
“這表示,我們造出來的機器,根本就是一堆廢鐵。”
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魏雲夢的話,很殘酷,卻無比現實。
她用冷冰冰的數學,向所有人揭示了一個絕望的事實:
即使他們把每一件事都做到最好,最終的結果,依然是失敗。
因為,各個子係統的誤差,會像滾雪球一樣,被無限放大。
會議室裡,再次陷入了死一般的沉寂。
如果說,剛才林振的話,是讓大家看到了困難的廣度。
那麼現在,魏雲夢的數學模型,就是讓大家感受到了困難的深度。
這似乎真的是一個不可能完成的任務。
就在所有人都感到絕望的時候。
林振又一次站了出來。
他走到魏雲夢的黑板前,拿起另一支不同顏色的粉筆。
“雲夢算的,沒有錯。”
他看著複雜的公式,眼神裡非但沒有畏懼,反而充滿了興奮。
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