光學所的危機,以一種近乎魔幻的方式,被林振輕鬆化解。
當那片凝聚了光學所畢生心血和林振超時代智慧的完美非球麵物鏡,被小心封裝進鏡筒時,整個801工程,掃清了最後一個技術障礙。
光源係統、照明勻光係統、投影光學係統、工件台係統、主動隔振係統,再加上由魏雲夢主導開發的,堪稱“大管家”的整機控製係統。
光刻機的六大核心子係統,全部研發成功!
消息傳出,整個749院,一片歡騰。
盧子真更是直接拍板,給所有參與801工程的人員,放假一天,晚上在院裡的大食堂,擺慶功宴!
隻是林振卻拒絕了。
“還沒到慶祝的時候。”
他在801工程的最後一次全體動員會上,表情嚴肅。
“行百裡者半九十。”
“我們現在,隻是把一堆零件造了出來。要把這些零件,組合成一台能正常工作的機器,才是最難的一步。”
“我宣布,801工程,從現在開始,進入總裝階段!”
749院保密級別最高的百級潔淨室,再次被啟用。
這一次,它不再是用來做小小的塗膠實驗。
它將成為龍國第一台光刻機的產房。
一箱箱貼著“最高絕密”封條的精密部件,從各個研究所,被運送到了這裡。
每一個箱子,都由荷槍實彈的士兵,全程護送。
潔淨室外,拉起了三道警戒線。
除了林振和幾個核心的安裝人員,任何人都不得靠近。
“溫度:20.001攝氏度。”
“濕度:45.02%。”
“潔淨度:百級。0.5微米以上塵埃粒子數,每立方米小於3500個。”
耿欣榮穿著厚重的無塵服,像個笨拙的宇航員,一遍又一遍的,核對著環境參數。
總裝,對環境的要求,苛刻到了變態的程度。
萬分之一度的溫差,都可能導致金屬部件產生微米級的熱脹冷縮,從而影響最終的裝配精度。
空氣中一粒小小的灰塵,如果掉進光路裡,都可能成為毀掉整個芯片的罪魁禍首。
“所有參數正常!可以開始總裝!”
隨著耿欣榮一聲令下,潔淨室厚重的氣密門,緩緩打開。
林振第一個走了進去。
他同樣穿著一身從頭到腳包裹得嚴嚴實實的白色無塵服,隻露出一雙眼睛。
可一雙眼睛,卻亮得驚人。
在他的身後,是王廠長,張懷民,還有幾個從機床廠和光學所,千挑萬選出來的,手最穩的八級技工。
潔淨室裡,六大子係統的模塊,已經按照流程,擺放整齊。
它們就像一堆沉默的鋼鐵巨獸,等待著造物主的召喚。
“第一步,安裝主動隔振平台。”
林振的聲音,通過無塵服自帶的通訊器,清晰的傳到每個人的耳朵裡。
王廠長和他手下的兩個鉗工,立刻上前。
他們用特製的,不會產生靜電和塵埃的工具,輕手輕腳的將重達幾百公斤的隔振平台,安裝到了預定的位置上。
每一個螺絲的扭矩,都由林振親自用扭力扳手,進行最後的複核。
不能太緊,也不能太鬆。
林振的微操感知能力,在這一刻,發揮到了極致。
他能清晰的感覺到,每一個螺絲,在擰緊的過程中,內部應力的細微變化。
他能保證,整個平台的受力,是絕對均勻的。
接下來,是工件台係統。
那塊由林振親手手搓出來的,鏡麵一樣光滑的導軌,在無影燈的照射下,散發著迷人的光澤。
兩個氣浮工件台,被穩穩的安放在導軌上。
然後,是光學係統。
張懷民親自抱著那個來之不易的投影物鏡鏡筒,像抱著自己的親孫子一樣,一步一步,挪到安裝位。
他的手,抖得厲害。
不是因為虛弱,隻是因為激動。
林振走過去,從他手裡,接過了沉甸甸的鏡筒。
“張所長,您歇會兒。”
“接下來,交給我。”
林振的雙手,穩得像磐石。
他托著鏡筒,緩緩的將它與下麵的工件台,進行對接。
那是一個十分精密的法蘭接口。
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