紫外光束亮起又馬上熄滅,全程不到一秒。
主控台前的倒計時歸零,整個潔淨室靜然一片。
“完了?”化工所的李教授瞪著布滿血絲的眼睛,啞著聲音問,“這才多大點功夫,是不是機器斷電了?”
在老一輩科研人員的認知裡,就是去照相館洗個相片,那也得在暗室的顯影液裡泡上半天。
這造最先進的芯片,曝光連眨眼功夫都不到,完全違背了他們積累幾十年的常識。
“沒斷電,曝光已經完成。”林振正色回應,抬了抬下巴指著氣浮工件台,“把矽片取出來,送去顯影室。”
李教授沒敢叫旁人,自己套上厚重的防酸橡膠手套,抓起一把定製的絕緣鑷子。
他這把老骨頭平時端滿杯的熱水都不灑一滴,現在捏著鑷子的手卻止不住的發抖。
這六英寸的單晶矽片,是國家勒緊褲腰帶花天價外彙換回來的無價之寶。
如果因為他取片的手法重了導致報廢,他拿命都賠不起。
他小心把矽片夾進培養皿。
在眾人注視下,矽片表麵光潔平整,肉眼看不出半點異樣。
“林總師,這上麵啥也沒有啊。”耿欣榮湊近看了看,小聲咕噥。
魏雲夢站在林振身側,道:“光刻膠發生的是分子層麵的光化學反應,你用肉眼當然看不出來。”
從光刻機到隔壁顯影室隻有十幾步路。
李教授端著培養皿,步子邁得又重又慢。
他走得極為莊重,生怕自己帶起的微風吹進灰塵,毀了林振親手畫在上麵的兩千個晶體管版圖。
顯影室的防爆玻璃實驗台上,擺著幾瓶剛調配好的藥水。
玻璃瓶上貼著紅紙標簽,用毛筆工整寫著“K1型顯影液-絕密”。
這是林振給出的配方,化工所的人熬了好幾個大夜,經過反複提純才弄出來的心血。
李教授拿起玻璃滴管,吸了小半管顯影液。
他的手又開始抖了。
他咽了口乾澀的唾沫,強行壓住腕子的顫動,把顯影液輕柔的滴在矽片正中央。
透明的藥水在矽圓片上緩緩散開。
圍在旁邊的十幾雙眼睛全瞪得老大,連大氣都不敢喘,目不轉睛的盯著培養皿。
一秒、兩秒、十秒……
二十秒過去了,矽片表麵連個氣泡都沒冒出來。
“怎麼沒反應?”材料所所長滿頭大汗,聲音又重又急。
李教授的腿有些發軟,他扶著實驗台的邊緣,啞著聲音自責:“是不是我剛才顯影液滴的量不夠?還是咱們調配的K1藥水濃度差了火候?這片矽不會是廢了吧?”
他心疼國家的外彙,眼眶直接紅了。
大家心裡七上八下,冷汗直冒。
林振邁步走近,溫潤開口:“別急,再等等。我們用的這款光刻膠屬於負性膠,顯影原理是利用溶劑把沒被紫外光照射到的部分溶解掉,留下發生交聯反應的曝光區。化學鍵斷裂重組,需要時間。”
他拋出的這套理論,對現在的科研人員來說就是降維打擊。
大家聽不懂交聯反應的具體機製,可出於對林振毫無保留的信任,原本躁動恐慌的情緒逐漸被安撫下來。
又過了整整三十秒。
林振抬手瞄了一眼腕表:“時間到,上顯微鏡。”
李教授趕緊把培養皿移到高倍金相顯微鏡下。
他雙手扶著鏡筒,湊上右眼,轉動調焦旋鈕。視野從模糊逐漸變得清晰。
當焦距完全對準的一刻,李教授整個人僵在原地。
他連呼吸都停了,半張著嘴,愣是半天沒吐出一個字。
“怎麼了老李?你倒是出個聲啊!成沒成?”盧子真急得直跺腳,不滿的道。
李教授沒說話,他眼角滾下兩行熱淚,身子往旁邊一偏,把顯微鏡的位置讓了出來。
盧子真一把推開材料所所長,自己把眼睛貼在目鏡上。
下一刻,盧子真也變成了木頭人,嘴裡發出斷斷續續的抽氣聲。
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