腐蝕深度。達到設計尺寸後,立刻取出銅板,用清水衝洗,再去掉剩餘光刻膠。”
“這樣,整條微流道就能一次成形。”
王廠長低頭看著自己的雙手。
他這雙手握了二十多年車刀,閉著眼都能靠手感判斷進刀量。此刻他才發現,加工材料未必總要靠硬碰硬。
光負責畫線,化學藥液負責吃掉多餘的銅。
機床啃不動的活,就這樣被拆成了幾道安靜的工序。
“也就是說,”他慢抬起頭,“不用轟響的機床,也不用刀具切下一點銅屑。把膠塗上,照一次光,再放進藥水裡,流道自己就出來了?”
“原理就是這樣。”
林振點頭。
“實際操作還需要解決邊緣側蝕、流道深度一致性和銅板表麵潔淨度。任何一項控製不好,都會影響冷卻水的流量。”
“可這些問題都能測量,也能通過試驗修正。”
王廠長擺正剛剛歪歪斜斜的圖紙,仔細撣去灰塵。
“服了。”
“我老王今天算開了眼。咱們研究了半輩子怎麼把刀磨得更快、更硬,你直接把刀扔了。”
“等這塊板做出來,我得讓廠裡的年輕技術員都來看一遍。以後搞機械的,也得懂光學,懂化學。守著一台車床吃老本,早晚要落後。”
幾名八級技師跟著點頭,沒人覺得丟臉。
龍國工業底子薄,最怕的就是把各個專業分成互不往來的小院子。光刻機能造芯片,也能加工微流道,這條路一旦走通,未來能解決的遠不止銀河散熱。
精密濾網、微型噴嘴、雷達波導,甚至航空設備裡的複雜薄壁零件,都可能從中受益。
盧子真已經翻開工作本,開始安排任務。
“王所長,立刻通知801工程值班組,解除光刻機封存狀態。光學、控製和潔淨室人員,兩小時內到崗。”
“明白!”
“機床廠負責挑選四塊平整度最好的無氧紫銅毛坯,先進行表麵研磨。粗糙度必須達到林振要求,誰也不許拿有劃痕的板子湊數。”
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王廠長把胸口拍得發響。
“我親自盯著磨!”
盧子真看著黑板上的工藝流程,清臒的臉上終於鬆開幾分。
“造芯片的設備,轉過頭還能救銀河。這台光刻機,我們沒白造。”
“它以後能做的事,還多著呢。”
林振把粉筆放回槽內,側身看向魏雲夢。
“蝕刻液是第一個關鍵。紫銅純度、藥液溫度和濃度都會改變蝕刻速度。速度過快,流道邊緣會被橫向腐蝕;速度太慢,深度又難以保證。”
魏雲夢走到黑板前,拿起圖紙看了片刻。
“把銅板成分報告、目標蝕刻深度和允許誤差給我。材料所先做小樣,分別記錄不同濃度和溫度下的腐蝕曲線。”
她抬手指向水冷板最窄的一段。
“這裡寬度隻有零點幾毫米,必須壓住側蝕。三天內,我會篩出穩定配方。”
“三天太久。”
林振說道:“銀河等不起。你帶兩組人倒班,先在廢銅片上做梯度試驗,四十八小時內給出第一版工藝窗口。”
魏雲夢算了算實驗批次。
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