第244章 流片數據出爐，光刻機主體成功

把對方的話給打斷。

而這個時候，那位科員人員也沒有耽擱，僅短暫頓了一秒，忙詳細講出報告中的數據。

「根據測量結果顯示，逐光解析度完全達標，光學成像能力優秀，各層圖案對齊良好，另外光刻機的機械精度達到預期。」

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當徐銘以及賀鵬濤和丁順安，等微電子裝備科研人員，聽完這番話後，原本懸著的心總算徹底放下，證明逐光國產極紫外光刻機主體研發成功。

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