成過的分子結構,理論上對極紫外光的吸收率是傳統材料的3倍,且酸擴散可控性提升一個數量級。」
「絕對能滿足璿璣係統和逐光極紫外光刻機的要求。」
「大家這段時間辛苦了。」徐銘點點頭慰問句。
蘇振豪則接過話茬道:「我們並沒有做多少,主要全靠徐總師您定義的理想光刻膠模型。」
如今最優的光刻膠分子結構,終於設計出來,任務也就輪到了化學研究所。
即把分子結構圖,交給周啟深他們,對這項全新的光刻膠材料進行最終合成測試。
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