向推導”和“優化設計”出來的。它使用的核心部件，如激光器、鏡片材料、特種陶瓷、傳感器等，部分是周明遠通過特殊渠道從全球采購的高端工業品，部分則是機器人利用基地內的小型熔爐和納米級3D打印設備，自己“手搓”出來的！其性能目標，直接對標海外最先進的DUV光刻機，最高可支持7納米工藝！
“預計還需要多久可以完成調試，並生產出第一片合格的測試芯片？”李森問。
“全部調試完成預計需要60天。流片驗證需要額外60天。如果一切順利，120天後，可以產出基於7納米工藝的測試芯片。”機器人精確回答。
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120天！不到半年！這個速度，若是傳出去，足以讓全球半導體業界地震！
“很好！優先保障‘燭龍’項目資源。同時，開始規劃下一代EUV光刻機的技術預研。”李森下令。他要的，不是簡單的打破封鎖，而是全麵的領先。
“指令確認。EUV技術預研項目已啟動，代號‘羲和’。目前主要攻關難點在於高功率EUV光源和反射式光學係統。”
離開B+區，李森又來到數據中心。這裡堆放著數千個已經存滿了技術資料的U盤。他讓734將關於“燭龍”光刻機的部分“非核心”技術資料，子係統的設計思路、關鍵工藝的替代方案、控製軟件的架構等整理出來，準備擇機“泄露”給滬市的“星海精工裝備研究所”和蜀府新區未來組建的光刻機研發團隊。他要讓明麵上的團隊，也能“順理成章”地取得突破，最終實現“自主研製”的成功，從而掩蓋真正實力。
兩個月後，當周明遠再次為光刻機愁眉不展時，李森將他叫到辦公室，遞給他一個硬盤。
“明遠，這是我們精工所和合作院校的專家們，近期在光刻機雙工件台和照明係統方麵，取得的一些突破性理論成果和初步的設計方案。你組織核心專家團隊進行驗證和深化設計。或許，我們能走出一條不一樣的路。”
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