王磊的行動,隱秘而致命。
他沒有選擇直接破壞設備那種低級手段,而是將目標鎖定在了二維芯片量產線的核心——光刻機的曝光數據上。
通過收買了一個對薪資不滿、且曾被趙剛批評過的光刻工藝工程師(我們暫且稱他為張某),王磊獲取了光刻機的部分操作權限和日誌清除方法。
在一個深夜,張某利用值班的機會,按照王磊的指示,極其隱蔽地修改了某一關鍵掩膜版的曝光參數補償值。這種修改非常微小,在單次曝光中幾乎無法察覺,但會在後續的蝕刻和離子注入工藝中不斷累積、放大誤差,導致整批晶圓的良品率出現斷崖式下跌,且原因難以追溯。
王磊的計劃很惡毒:他不要一次性摧毀生產線,而是要製造一種“陸星辰團隊技術不過關,良率無法穩定,之前提升隻是運氣”的假象。這足以動搖董事會和外界對“星河項目部”的信任,甚至可能借此剝奪陸星辰的控製權。
第二天,量產線如常啟動。
最初幾片晶圓的在線檢測數據似乎並無明顯異常。但隨著加工的進行,中測環節開始反饋異常數據增多。
趙剛第一時間察覺到了不對勁。
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“不對!這批次的核心區關鍵尺寸波動範圍明顯超出了控製線!”趙剛盯著實時數據屏幕,眉頭緊鎖,“工藝參數沒有變動,環境穩定,怎麼會這樣?”
他立刻下令暫停該批次的生產,召集工藝工程師進行緊急排查。
然而,無論是檢查設備狀態,還是複核工藝配方,都沒有發現任何明顯問題。那個被修改的參數隱藏得很深,且其影響具有滯後性。
“難道是原材料批次問題?”老周提出了懷疑。
“立刻封存當前批次所有原材料和半成品,啟用備用批次材料,再生產一小批進行對比驗證!”趙剛果斷下令。
整個量產線的氣氛頓時緊張起來。良率爬坡到了最關鍵的百分之三十四衝百分之三十五的節骨眼,任何意外都可能是致命的。
消息很快傳到了陸星辰那裡。
他立刻趕到量產線區域,聽取了趙剛的彙報。
“排查了所有明顯可能,都找不到原因?”陸星辰麵色凝重。直覺告訴他,這絕非簡單的技術波動。
“是的,陸總,非常詭異。”趙剛語氣沉重,“就像……就像有什麼看不見的東西在乾擾著工藝。”
就在這時,陸星辰的手機響了,是“織網”安防係統的戴安全專家打來的。
“陸總,我們監測到昨晚淩晨兩點至三點期間,光刻區的日誌記錄存在一段非正常的空白期,大約持續了三分鐘。同時,檢測到一段微弱的、未經授權的無線信號接入,來源疑似內部網絡,但信號特征經過了偽裝,難以精確定位。”
陸星辰的眼神瞬間變得銳利如刀!
日誌空白!非授權接入!
這絕不是巧合!
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