這話一出,魏天華直接呆愣在原地。 【記住本站域名 解悶好,.超流暢 】
13.5納米正是EUV光刻機的核心參數,可嚴正行說不需要反射鏡組?
要知道現在的EUV光刻機為了規避鏡片吸收問題,光是高精度反射鏡就用了11片。
每一片的製造難度都堪比藝術品,全球能生產的廠家不超過三家。
陳進一的眼睛裡寫滿難以置信。
他也曾接觸過頂尖光刻機研發,太清楚這個技術方向的顛覆性。
如果真能實現,等於繞開了EUV最卡脖子的供應鏈環節。
「這怎麼可能?就算波長達標,能量密度、穩定性、持續工作時長……這些都是攔路虎啊!」
「我們試過用雷射倍頻技術逼近這個區間,結果設備開機半小時就因為過熱報廢了。」
望著對方難以置信的樣子,嚴正行依舊是老樣子:
「我可以保證,這種全新光源的轉化效率將超過30%!
「30%?!」
陳進一猛地站起身,結果膝蓋一不小心撞到桌上,疼得他齜牙咧嘴,但還是咬著牙道:
「這不可能!光源轉化效率每提升1%都是天塹,您說的是理論值還是?」
要知道現在ASML的EUV光源轉化效率還不到5%。
這意味著什麼?
意味著他們要是知道這種光源技術的存在,一定會集體發瘋,不計一切代價得到它!
「是工程樣機就能達到的實際值。」
嚴正行語氣平靜,卻像一顆炸雷在會客廳裡炸開。
魏天華臉色發白,他終於明白這場合作的分量。
能讓安全局和軍隊同時介入安保,恐怕真要搞出顛覆行業的東西。
「那……安保方麵?」
魏天華聲音發緊。
陳勁剛回應道:
「從協議簽署生效開始,安全局會派駐三十名特勤人員接管廠區安防。
外圍由軍區調派一個連的兵力布防,無人機二十四小時巡邏。
任何未經授權的人員靠近都會觸發一級警報。」
「魏總,你們團隊裡需要留下配合的人員,我們會馬上安排背景審查。」
「沒問題的話今晚就能辦理入住。」
「接下來兩個月,恐怕得委屈大家在這裡閉環辦公了。」
魏天華隻覺得後背發涼。
他看著眼前這幾位神色凝重的來客,突然意識到自己捲入的或許是足以改變龍國半導體命運的大事。
他拿起筆,手卻有些發顫:
「這麼大的動靜,是要把樣機直接量產嗎?」
「當然不是。」
張雲終於開口,指尖在桌麵上輕輕敲擊:
「我們先造一台驗證機。」
「用你們的精密加工車間,超淨間和鍍膜設備,兩個月內做出能穩定運行的樣機。」
「至於具體原理,涉及的技術鏈條太長,說了你們也未必能立刻理解。」
「不如等成果出來,讓機器自己說話。」
想要完全製造一台劃時代的光刻機,即便是有全套技術,也至少需要5年時間!
但他們並不需要造出一台光刻機,隻要能造出能夠展示這種光源係統可行性的樣本機就行。
隻要有樣本機在,他們就有足夠的籌碼和ASML公司談判了。
等他們將東西拿到手,【逐光工程】就能進入高效生產階段,以此為基礎,打造出更多先進造物。
張雲給國家的預期是兩個月。
兩個月時間一邊測試樣機,一邊升級現有的光刻機型,以此達成初期戰略晶片的產出需求。
陳進一還想多問問,卻被魏天華用眼色趕緊製止。
魏天華深吸一口氣,在協議末尾簽下自己的名字:
「既然是國家任務,海天微電子沒有理由拒絕。」
「隻是……希望這台樣機真能像嚴博士說的那樣,讓咱們龍國人也能抬起頭來。」
筆尖劃過紙麵,魏天華心中翻湧的卻遠不止簽字的沉重。
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