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“對,工廠。”
江川肯定道,開始用手指在空中比劃,
“咱們不追求把東西做小,塞進一個盒子裡。
咱們反過來,把東西做大,越大越好,攤開來做!”
“想要高質量、高功率的極紫外光源?
咱們不搞什麼激光打錫滴了,
咱們直接建一個小型的、專用的電子同步輻射光源,
或者基於類似原理的定製化加速器!
規模可以比現在EUV光刻機裡的光源部分大十倍、百倍!
穩定性、功率、光束質量,
完全可以碾壓他們那個為了塞進飛機而不得不妥協的小玩意兒!”
“光學係統也一樣,
不用再糾結於在有限空間裡塞下幾十麵超高精度反射鏡還要保持絕對穩定。
咱們有地兒!
建一條百米甚至更長的、恒溫恒濕恒震的光學長廊,
把透鏡、反射鏡、掩模台、矽片台……
全都按照最理想、最穩定的方式布置開!
用空間換精度,用規模換穩定!”
“還有環境控製,整個‘光刻工廠’的核心區域,
可以建成一個超大型的、近乎絕對的潔淨和穩定空間,把溫度波動、振動、微粒乾擾降到極限以下!”
江川語速加快:
“這樣一來,咱們可能根本不需要去追求阿斯麥那種5納米、3納米的‘標稱製程’。
因為咱們的光源質量更好、光學係統更穩、環境控製更變態,
用同樣的甚至更落後一些的光學設計,
說不定就能穩定地實現更高精度的雕刻!
或者,能用更簡單、更可靠的工藝步驟,
達到他們需要複雜多重曝光才能實現的效果,良品率自然就能上去!”
“而且,一旦這個光刻工廠建成,它就不是一台設備,而是一個平台!
一個可以不斷升級、改進、擴展的平台!
光源老了?換更大的!
光學係統有新技術?加進去!
甚至以後有了全新的芯片製造原理,也可以在這個龐大的平台上開辟新的實驗線!”
靜!
死一般的寂靜!!
會議室裡,再次陷入了落針可聞的死寂。
一名博士下意識想反駁這完全違背常識,逆天的言論。
但是忽然一想,
嘶!
欸!
臥槽!?
這夢話...咋就邏輯還挺...特麼通順的!!!
哦不,怎麼好像...非常合理!?
又是一陣頭腦風暴加消化。
東方國際芯片集團的高管和專家們,
一個個張大了嘴巴,眼睛瞪得溜圓,看著江川,
仿佛在看一個剛剛從外星降落的、正在用地球語言描述反重力原理的……
天才,或者瘋子?
不造光刻機,造光刻工廠?
把阿斯麥費儘心機集成縮小的東西,再拆開、放大、用“力大磚飛”的方式做到極致?
這思路……這思路也太……太特麼的清奇了!
太粗暴了!
太……讓人拍案叫絕了!
關鍵是,仔細一想,從純技術邏輯上,
這方案……居然他媽的真的可行!
西方阿斯麥是賣設備的,
要考慮全球物流和客戶適配,必須小型化、集成化。
可龍國是自用的!
芯片廠就在這裡,又不用搬!
自己家作為製造大國,需求量都供不應求。
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