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龍國科學院,保密室。
“這個動態補償算法...完全避開了阿斯麥的專利陷阱,用了一種全新的反饋機製,這比我們最理想的方案還要先進。”
“而且它居然考慮到了環境振動和溫漂的耦合影響?這需要多大的計算量?”
王宇鑫呆立在原地,像是被雷擊中一般,
這圖紙展現出的思路,已經不能用震撼來形容了,
說這是荷蘭阿斯麥公司最新的光刻機領域研發成果他都相信。
就在王宇鑫呆滯在原地時,負責控製係統的劉軒已經搶過了鼠標,
他顫抖著點開了《核心算法與控製軟件架構》,
裡麵是海量的代碼框架、實時調度策略、極其複雜的通信協議和錯誤診斷機製文檔,
他越看臉色越白。
“這算法架構和這實時性控製邏輯!”
劉軒喃喃自語,眼中是駭然與狂熱交織的光芒,
“這絕對不是紙上談兵,這架構的完整性和對極端情況的預案設計,
沒有無數次實際操作經驗根本寫不出來,
它甚至預留了升級到5納米以下工藝的接口!這根本不可能是一個大學生寫出來的東西!”
整個保密會議室陷入了死一般的寂靜,
隻剩下粗重的呼吸聲和電腦風扇高速運轉的低鳴,
最初的震驚、質疑、荒謬,此刻已經被一種更加洶湧澎湃的情緒取代,
那是看到前所未有希望的激動,是認知被徹底顛覆的震撼!
趙建生感覺自己的心率已經飆升到180了,每一次跳動都帶來一陣眩暈,
屏幕上那些冰冷的數據,複雜的圖紙,此刻在他眼中都散發著誘人的的光芒,
一個困擾龍國科技界多年,投入無數卻步履維艱的絕境,
竟然可能被一份來自江南大學學生宿舍的郵件撕開了一道口子?
“等等?這個是?”
王宇鑫在一眾子文件夾中精準的發現了一個不得了的東西:《安裝調試手冊》。
下一秒趙建生、李垣、劉軒等一眾光刻機領域的頂尖專家當場石化,目光死死粘在巨大的投影屏幕上,
那份名為《安裝調試手冊》的PDF文檔,在王宇鑫的操作下被點開,
數十萬的文字描述和注意事項進入所有人的視線。
“為什麼會有這個?圖紙再精細,也隻是設計藍圖,
調試手冊是針對完整實物的操作指南啊,難不成...”
趙建生的聲音微微顫抖,沒有把話說完,
有圖紙已經誇張到極致了,至於造出實物,那真是想都不敢想的事!
“老趙,你...別開這種玩笑,我們年齡大了,心臟可不好。”
李垣明白了趙建生的意思,但他同樣不敢想象一個大一學生手搓光刻機的畫麵,
要知道一台光刻機光零件都有十萬個左右,先不說組裝,
光是製作材料都夠他們科學院喝一壺,普通人根本不可能做到!
“那這份說明什麼意思?”
王宇鑫指著屏幕上放大的一段文字:
使用校準編號為ASML-CAL-003或等效精度的激光乾涉儀對工件台X軸進行納米級線性度補償,
注意:需在環境溫度穩定±0.01℃持續2小時後進行,
記錄補償前、後PT100傳感器A7、B3讀數,差值應小於0.005℃,
如發現補償後動態重複定位精度仍大於0.8nm(3o),
檢查導軌滑塊預緊力(參考扭矩值:12.5±0.2 N·m,使用SN-456型數顯扭矩扳手),
及氣浮軸承供氣壓力(設定值:5.2 bar± 0.05 bar)。
......
“扭矩值精確到0.2牛米?氣浮壓力設定到小數點後兩位bar?
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