【第74章 綠得讓人心安】
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單片晶圓試刻。
這六個字從林淵口中吐出的那一刻，總裝車間裡所有人的神經，一下子繃到了極致。
整機總裝完成，空載聯測跑了兩個多小時零報錯，這些固然振奮人心。
但在場的人都清楚，空載和實刻之間，隔著一道名為現實的天塹。
空載數據再完美，也隻說明這台機器的骨架是好的，能動，能協同。
但光刻機的終極使命，是“刻”。
是把人類智慧凝結成的最精密圖案，毫厘不差地蝕刻在那片脆弱的矽晶圓上。
刻不出來，一切歸零。
林淵沒有給任何人繼續醞釀情緒的時間。
他轉身，打開操作台旁一個銀灰色的密封運輸箱，用真空吸筆精準吸起一片8英寸的空白光刻晶圓。
矽片表麵鍍著一層均勻的光刻膠，在車間的冷白燈光下折射出淡淡的虹彩。
他托著晶圓，動作極穩，將其精準放入工件台的真空吸附卡盤上。
“嗒。”
一聲輕響，吸附啟動，晶圓被牢牢鎖定。
隨後，林淵的手指在操控終端上飛速敲擊，沒有絲毫猶豫，開始導入測試版圖。
大屏幕上，一張密密麻麻的電路圖案開始加載。
每一根線條的寬度和間距，都被控製在一個極其微小的尺度內，肉眼根本無法分辨其中的具體細節，隻能看到一片規整的幾何矩陣。
魏建成第一個湊了上來。
他盯著屏幕上那幅版圖，瞳仁急劇收縮了一下。
“林總工。”
他的嗓音壓得極低，粗重的呼吸在寂靜的車間裡，顯得格外清晰。
“這套版圖的線寬……是多少？”
他問出這句話時，賀一誠和楊林也下意識地向前一步，眼神凝重。
林淵頭也未回，手指在操控台上完成最後的參數鎖定，並淡然吐出三個字。
“十納米。”
這句話，讓在場的眾人不禁呆愣住了。
十納米！？
這根本不是一個簡單的數字。
這代表的是當今全球半導體製造工藝金字塔最頂端的第一梯隊。
放眼當今世界，能拿出10納米精度測試版圖的國家，一隻手綽綽有餘。
而這一隻手裡……沒有夏國。
林淵沒有給任何人繼續震驚的餘裕。
他最後確認了一遍所有參數，指尖懸在啟動鍵上方一瞬，隨即按了下去。
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“啟動。”
一聲低沉的電子提示音響過。
整台光刻機的指示燈陣列，由待機的冷藍同步切換為運行的暖白。
光源模塊率先啟動，超導加速腔內的低溫循環係統發出極其細微的嗡鳴，EUV光束在密封光路中完成了第一次脈衝輸出。
大屏幕上，各項實時參數同步跳動。
光源功率、曝光劑量、工件台位移精度、對準偏差值……
所有數據，穩如泰山，綠得讓人心安。
整個過程，全自動運行。
沒有任何調試卡頓，沒有任何參數需要臨時修正。
從光束引出到掩模版對準，從曝光窗口移動到工件台步進換場，每一個環節都銜接得天衣無縫。
車間裡的所有人，都下意識地屏住了呼吸。
幾十雙眼睛，死死盯著大屏幕上那些穩定跳動的綠色數字。
三十秒。
一分鐘。
兩分鐘。
整個試刻流程沒有出現任何中斷。
當最後一組曝光序列完成，操控台彈出“工作完成”的綠色提示時，車間裡依然鴉雀無聲。
沒有人動。
因為所有人都明白，試刻完成，不等於成功。
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