魏建成三人齊齊點頭,臉上剛剛浮出的喜色收了幾分,重新換上繃緊的專注。
單片試刻通過,隻證明這台光刻機精度夠,能刻,且刻得準。
但它的商用價值,從來不在於“能不能刻好一片”。
而在於,它能不能穩定地、持續地、一片接一片地刻下去,並保證每一片的質量,都和第一片別無二致。
這,叫做批量一致性檢測。
【𝗼𝗼𝗽.𝘁𝘄 無錯章節】
是整機驗收的最後一關,也是最殘酷的一關。
隻有這一關跑通了,國產光刻機,才算真正意義上的,研發成功!
所有人都明白這個道理,無需多言。
就在眾人準備迎接最後衝刺時,林淵已經重新走回了操作台。
他彎下腰,從台麵下方拖出一個此前無人注意的軍綠色大號密封運輸箱,體積比剛才那個,足足大了三四倍。
“哢噠。”
鎖扣彈開,箱蓋掀起。
箱內,是一排排碼放得整整齊齊的晶圓片盒。
每個片盒中,都靜靜疊放著二十五片8英寸空白光刻晶圓。
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