【第75章 超乎想象!】
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一百?
聽到林淵輕描淡寫吐出的這個數字,車間內所有人都呆愣住了。
按照半導體行業的規則,一台全新研發的原型機,做批量一致性檢測,能連續跑通十片晶圓不出錯,就足以向全世界開香檳慶賀。
而敢在初次試車就測試二十片的,那已經是技術極度自信、甚至帶著點賭徒心理的瘋子了。
因為任何一丁點的機械冗餘、溫度偏差、或是光路微顫,都會在連續的高強度作業中被無限放大,最終導致晶圓報廢!
可林淵開口,就是一百片。
這是什麼概念?
這意味著,他要用最苛刻、最不留情麵的方式,將這台剛剛誕生的國之重器,置於最嚴酷的煉獄中炙烤。
陳景山眯起眼,盯著林淵,聲音沉穩。
“你確定?”
林淵站在操作台前,笑了笑,語氣裡是化不開的輕鬆。
“坐擁三大超越時代的完美核心技術,我對它,有信心。”
那聲音雲淡風輕,但那份寫在骨子裡的篤定,卻讓空氣都變得粘稠起來。
陳景山深深看了他一眼,喉結滾動了一下,不再言語,隻是緩緩、卻重重地頷首。
一旁的周平,目光在林淵和那台線條冷峻的銀灰色巨獸之間來回掃過,大腦一片空白。
這個年輕人,究竟是真的胸有成竹,還是?
魏建成幾人對視一眼,眼神交彙的時候,都從對方眼中看到了同樣的決絕,也不再多言。
很快,幾個早已待命的研究員上前,動作又輕又快,從那個軍綠色的運輸箱中,一盒接一盒地捧出晶圓片盒。
不到五分鐘,一百片8英寸、塗抹著昂貴光刻膠的空白晶圓,全部裝填進進料艙。
林淵站在操控台前,指尖在屏幕上流暢劃過,設定好批量作業程序。
最後,他抬起眼,目光掠過現場每一張緊張的臉。
他的指尖,懸停在啟動鍵之上。
“開始。”
指尖,悍然按下!
“嗡——”
光刻機內部,傳來一陣比之前更為深沉的運轉聲
超導加速腔全功率運轉,EUV光源開始進行高頻脈衝切割。
整個車間裡,幾十雙通紅的眼睛,一眨不眨地黏在大屏幕那片跳動的綠色數據上。
沒有人說話。
甚至沒有人敢大口呼吸。
時間,在這刻被無限拉長……
在所有人的注視中,整台光刻機沒有絲毫的卡頓,沒有任何一個紅色的報錯跳出,就那麼穩定、高效、冷酷地運轉著。
終於。
伴隨著清脆的電子蜂鳴,操控台屏幕上彈出了“批量作業完成”的碩大綠色字樣。
但,依舊沒有人歡呼。
因為所有人都明白,真正的審判,還沒有到來。
林淵轉身,朝幾個研究員抬了抬下巴。
“取片,送檢。”
幾個研究員猛然驚醒,趕忙上前,將那一百片承載著整個國家希望的晶圓,整齊地碼放在專用托盤上。
隨後,一行人浩浩蕩蕩地朝檢測區走去。
掃描電鏡檢測區內。
幾台高精度設備已經提前預熱完畢。
林淵沒有親自動手,而是將這個任務交給了幾個核心技術骨乾。
“分組檢測,每台設備負責二十五片,全部掃描完畢後,彙總數據。”
“是!”
檢測,正式開始。
四塊獨立顯示屏上,灰白色的電鏡成像照片,一張接一張地彈出。
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線條平直,邊緣銳利,結構完美。
第一片,合格。
第五片,不合格。
第十片,合格!
隨著晶圓的檢測結果一個個出來,車間裡的氣氛非但沒有放鬆,反而愈發緊繃。
時間好似被放慢了無數倍。
終於!
當第一百片晶圓的掃描結果彈出,一份由係統自動整合的批量檢測報告,驟然占據了中央的主屏幕。
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