極紫外光刻機用到的透鏡和基板都要達到很高純度的氟化鈣晶體。”該種晶體要在真空爐中以每小時0.1毫米的速度慢慢生長
他拿起來一杯咖啡喝了一口。
很不幸運的是。上個月三號熔爐出現了一次很小的停電事件。整個半年時間裡,所有的晶體毛料都報廢了。剩下的幾套合格的產品已經被送到美國洛斯阿拉莫斯國家實驗室去了。你們要貨物的話,要等到明年的三月份
辦公室裡非常安靜。暖氣管隻發出很微弱的“嘶嘶”聲。
陳輝頭上都是汗珠子。他知道國內的三台東芝機床已經到位了,光刻機的支架也已經準備好,等著裝上這些透鏡。到明年的時候,黃花菜也就變涼了。
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