,再高速甩薄。
按下啟動。勻膠機嗡嗡地轉起來,培養皿在吸盤上高速旋轉,光刻膠從中心向邊緣鋪開,在薄膜表麵形成一層極薄的透明塗層。聲音從隔音罩裡傳出來,悶悶的,像一隻蜜蜂被關在玻璃瓶裡。轉速降下來,停穩。
她把培養皿取出來,膠麵均勻,沒有條紋,沒有氣泡。周予安在旁邊看了一眼,點了一下頭。
接下來是前烘。她把基底放進烘箱,溫度一百度,時間九十秒。烘箱的顯示屏上數字開始跳動,從室溫一點一點往上爬。她站在那裡看著那個數字,和第一次跑升溫曲線時看著管式爐的顯示屏一模一樣。九十秒到了。烘箱發出輕輕的一聲“滴”。她把基底取出來,膠麵從透明變成了淺淺的琥珀色,湊近了能聞到一股極淡的溶劑味。
光刻機已經預熱好了。周予安把掩模版裝進光路裡——那是一小塊石英玻璃,上麵用鉻層刻著電極圖案,叉指狀的,像兩隻手的手指交叉在一起。他在觸摸屏上設好曝光劑量,轉過身看著她。
“放上去吧。”
沈聽瀾把基底放進光刻機的樣品台上,對準掩模版的位置。顯微鏡的視野裡,掩模版的圖案和基底表麵的薄膜重疊在一起,邊緣對齊。
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她旋動微調旋鈕,左一點,右一點,圖案穩穩落進預定區域。鎖緊樣品台。按下曝光鍵。紫外光從掩模版上方照射下來,穿過透明的石英,穿過鉻層鏤空的圖案,打在光刻膠上。被光照到的部分發生化學反應,變成可溶於顯影液的狀態。光刻機的快門發出一聲極輕的哢嗒。曝光完成。
她把基底取出來放進顯影液裡。透明的液體裡,被曝光的光刻膠開始溶解,極緩慢地,從圖案的邊緣向中心蠶食。她用鑷子夾住基底邊緣輕輕晃動,溶解的部分像細小的雲絮從膠麵上剝離,在顯影液裡散開。
時間到,她把基底夾出來放進定影液裡,光刻膠的溶解停了,被曝光的區域完全去除,露出下麵深灰偏黑的薄膜。沒被曝光的區域保留著琥珀色的光刻膠,把薄膜保護在下麵。叉指電極的圖案完整地轉移到了薄膜表麵。
李輝湊過來,隔著顯微鏡看了一眼。然後他直起身,口罩上麵那雙眼睛彎了起來。
“成了。第一次光刻,圖案完整,邊緣清晰。”他把手套脫下來,在沈聽瀾肩膀上拍了一下,“你們倆,天生就是乾這個的。”
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