杜師傅負責矽片台的安裝，這會兒扭矩扳手剛剛放下，配合著劉師傅對掩模台等設備的聯通裝配。
沈永健這會兒也加入了二人的組裝工作，將才研製完成的激光乾涉儀安裝在關鍵位置。
由於零配件眾多，且安裝步驟極為複雜，每次安裝到一定程度，還需要進行檢驗與修正，使得整個安裝花費時間不少。
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第521章 步進掃描光刻機
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