【第96章 李維民卡住了】
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李維民從舞台側麵上來，黑框眼鏡，深藍色襯衫。
他走到講台前，把一遝薄薄的紙放在台麵上，沒有打開，直接抬頭看向台下。
"各位。我接下來要用大約十五分鐘時間，介紹這台機器的技術指標。"
他說著，伸手在講台側麵的觸控屏上點了一下。
身後的大屏幕亮起，浮現出一張結構框圖，從上到下七個模塊依次排開：
光源係統、照明係統、投影物鏡、晶圓台、對準係統、減振係統、整機熱控。
"先講光源。"
"燭龍采用的不是阿斯麥現行的CO₂激光+錫滴靶方案，而是全超導磁控腔體結構。錫滴在飛行路徑上經過三維磁網格預排列，在靶區形成最優輻射構型，激光隻作為點火觸發。"
"EUV收集效率，百分之九十九點七。"
台下傳來一陣壓低的吸氣聲。
前排VIP席的沈經世麵色不動，但攏在膝蓋上的手指微不可察地收了一下。
"晶圓表麵等效功率，"李維民頓了一下，"一千五百五十瓦。"
這一次連中科院趙景明都微微側了一下頭，金絲邊眼鏡後麵的目光閃了一瞬。
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"光學係統。"
大屏幕切換成一張反射鏡的剖視圖，背麵布滿了密密麻麻的微型線圈。
"燭龍采用超導碳基襯底配合主動磁控變形鏡陣列。"
"全鏈路麵形精度零點零零一納米。"
"連續運行四百小時，鏡麵溫升小於零點零零零三攝氏度，熱變形漂移小於零點零零二納米。"
台下坐著的行業觀察人士開始有人在筆記本上飛快地寫字。
"整機集成方麵，百分之四十的機械接觸被替換為磁懸浮耦合接口。"
“連續運行漂移小於零點零五納米每二十四小時。”
"產能，每小時五百三十七片晶圓。良率百分之九十八點四。"
"整機功耗約零點四兆瓦，占地麵積約一百二十平方米。"
李維民說完最後一項參數，把講台上的那遝紙收起來，往後退了半步。
"以上所有數據，均已通過專項小組內部三套獨立複核流程。"
“楊正清院士、胡振邦院士、許長庚總工分別簽字確認。”
"我的介紹完畢。"
會場安靜了大約兩秒。
然後前排VIP席的沈經世先抬起了手鼓掌。
緊接著是中科院趙景明，然後是總參陸正源。
掌聲從第一排向後方蔓延，像水波一樣層層推開，兩秒鐘之內淹沒了整個報告廳。
直播間彈幕在這一刻徹底瘋了：
"？？？？？？"
"一千五百五十瓦？？阿斯麥才五百瓦啊！"
"零點零零一納米？？這是真實存在的精度嗎？"
"我剛剛去搜了一下阿斯麥NXE:5000的數據，功率500W，精度0.1nm，產能180片每小時......燭龍這三項全超了，而且超的不是一星半點。"
"功率是人家三倍，精度是人家的100倍，產能是人家的三倍......這合理嗎？"
"樓上，這不合理，但它就這麼報出來了。而且報數據的人是李維民，長春光機所的李維民，你但凡查一下他過去五年的論文引用量就知道這個人不會拿自己的學術聲譽開玩笑。"
"所以......真的搞出來了？"
"真的搞出來了。"
會場後排，範德維爾靠進椅背裡，雙手交叉擱在小腹上，嘴角帶著一抹清晰可辨的笑意。
他偏過頭，對身邊那位戴銀灰色半框眼鏡的迪特·克萊因低聲說了一句什麼。
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