【第84章 他吃準了我們繞不過去】
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門打開，又合上。
腳步聲沿著走廊漸漸遠了。
會議室裡重新安靜下來。
有人忍不住笑了一聲，緊接著是第二個、第三個。
光源係統負責人，那位滿頭白發的楊院士，摘下眼鏡，拿袖口使勁擦了擦眼角，聲音有些沙啞："行啊，這個年輕人......"
他身旁精密機械方向的胡院士重重靠回椅背，吐出一口濁氣："那句話，那句他就死了，我都想站起來給他鼓掌了。"
光學方向負責人推了推眼鏡，那張被範德維爾問得青一陣白一陣的臉上終於恢複了血色，"這是把咱們這幾個月挨的悶氣，一股腦兒全給他懟回去了。"
“一天天得誰懟誰，誰也看不慣。”
楊院士戴上眼鏡，笑了笑："他說的功率數據應該是真的。"
"但我不信他的六百瓦是天上掉下來的。"
"他啊斯麥也是從幾十瓦一步一步往上走的，隻是他們走的時候沒人拿這套話去羞辱他們。"
“現在過來了就開始指指點點。”
長桌兩側，眾人紛紛附和。
國防科工局那位領導清了清嗓子。
他看向秋明軒。
"秋明軒是吧？"
"是。"
"剛才那番話，說得有點急。"
"我知道。"
"但急得好。"領導點了點頭，話鋒一轉，"不過，範德維爾說的那些技術問題，雖然刺耳，卻也是事實。諸位，"他看向滿桌的專家，"咱們關起門來說實話，他說得對不對？"
沉默了一下。
楊院士先開口："光源功率不夠，對。錫滴穩定性沒到位，也對。"
胡院士跟著說："熱變形的問題我們確實還沒找到完全解決的方案。實機測試最長也就跑過四個小時，再久數據就開始漂。"
戴黑框眼鏡的中年研究員，光學組的李工，把保溫杯放下來，悶聲說：
"麵形精度差一個數量級，他沒說錯。"
"但那個零點一納米，是他們在真空環境下、用他們那套獨家的鍍膜工藝和應力補償技術才做出來的。"
"我們用的鉬矽多層膜方案，理論上能達到，但工藝參數......"
"三年了，我們還沒完全吃透。"
周培元一直沒坐下，靠在長桌一端，雙臂抱胸。
他接話道："不止這些。範德維爾最後那幾句話，二十年前的資料，七次迭代，你們知道什麼意思嗎？"
"他暗示我們技術路徑是錯的。"秋明軒說。
"對。"周培元看向他，"啊斯麥這二十年走過的路，不是線性的。"
"他們中間推翻過自己很多次。"
"我們拿到的圖紙是某一版的快照，但他們的第七版跟前一版可能連底層架構都不一樣了。"
"照著舊圖紙仿，仿到死也到不了他們現在的水平。"
秋明軒問："那我們沒有其他路徑了嗎？"
楊院士和胡院士對視了一眼。楊院士苦笑道："有。但我們走不了。"
"為什麼？"
"專利。"
李工接過了話頭。
他站起來，走到那麵巨大的電子白板前，伸手點亮屏幕。
白板上瞬間出現密密麻麻的色塊和連線，像一張巨大的蛛網。
"這是我們在過去五年裡梳理出來的、跟EUV光刻相關的全球專利布局圖。"李工指著屏幕，"紅色的是啊斯麥的。藍色的是蔡思的。綠色是TRUMPF的。黃色是其他幾家。你們看。"
他手指一劃，屏幕上放大了核心區域。
"EUV光源，核心專利集中在TRUMPF和啊斯麥手裡。"
"......護防屑碎、計設學光鏡集收、衝脈預光激、材靶滴錫"
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